(?) (?)要(Yao)达(Da)到(Dao)亚(Ya)微(Wei)米(Mi)级(Ji)和(He)纳(Na)米(Mi)级(Ji)的(De)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du),机(Ji)床(Chuang)超(Chao)精(Jing)密(Mi)部(Bu)件(Jian)运(Yun)动(Dong)精(Jing)度(Du)的(De)检(Jian)测(Ce)是(Shi)一(Yi)个(Ge)极(Ji)为(Wei)重(Zhong)要(Yao)的(De)方(Fang)面(Mian)。(?)
(?) (?)在(Zai)超(Chao)椭(Tuo)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)上(Shang)定(Ding)位(Wei)检(Jian)测(Ce),广(Guang)泛(Fan)采(Cai)用(Yong)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)测(Ce)量(Liang)系(Xi)统(Tong),这(Zhe)也(Ye)是(Shi)***高(Gao)精(Jing)度(Du)的(De)检(Jian)测(Ce)方(Fang)法(Fa),一(Yi)般(Ban)定(Ding)位(Wei)精(Jing)度(Du)可(Ke)达(Da)(02-03)m/1000m,***高(Gao)精(Jing)度(Du)可(Ke)达(Da)0.013m/1000mm。(?)
(?) (?)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)测(Ce)量(Liang)系(Xi)统(Tong)主(Zhu)要(Yao)由(You)两(Liang)部(Bu)分(Fen)组(Zu)成(Cheng):双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)器(Qi)和(He)光(Guang)嚼(Jiao)。(?)双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)器(Qi)是(Shi)目(Mu)前(Qian)机(Ji)床(Chuang)上(Shang)定(Ding)位(Wei)检(Jian)测(Ce)精(Jing)度(Du)***高(Gao)的(De)仪(Yi)器(Qi),它(Ta)的(De)分(Fen)辨(Bian)力(Li)为(Wei)001pm,目(Mu)前(Qian)世(Shi)界(Jie)上(Shang)***高(Gao)精(Jing)度(Du)的(De)双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)器(Qi)分(Fen)辨(Bian)力(Li)可(Ke)达(Da)1ma超(Chao)椭(Tuo)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)向(Xiang)纳(Na)米(Mi)级(Ji)精(Jing)度(Du)发(Fa)展(Zhan),双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)器(Qi)是(Shi)***要(Yao)发(Fa)展(Zhan)的(De)器(Qi)件(Jian)。(?)光(Guang)锄(Chu)是(Shi)机(Ji)床(Chuang)上(Shang)应(Ying)用(Yong)较(Jiao)广(Guang)泛(Fan)的(De)检(Jian)测(Ce)元(Yuan)件(Jian),随(Sui)着(Zhuo)超(Chao)精(Jing)密(Mi)专(Zhuan)用(Yong)机(Ji)床(Chuang)及(Ji)检(Jian)测(Ce)仪(Yi)器(Qi)的(De)进(Jin)一(Yi)步(Bu)发(Fa)展(Zhan),国(Guo)外(Wai)已(Yi)有(You)0.001m及(Ji)纳(Na)米(Mi)级(Ji)分(Fen)辨(Bian)力(Li)的(De)光(Guang)栅(Zha)。(?)
(?) (?)检(Jian)测(Ce)过(Guo)程(Cheng)是(Shi)由(You)精(Jing)密(Mi)闭(Bi)环(Huan)控(Kong)制(Zhi)系(Xi)统(Tong)控(Kong)制(Zhi)的(De)。(?)在(Zai)加(Jia)工(Gong)工(Gong)件(Jian)时(Shi),机(Ji)床(Chuang)的(De)运(Yun)动(Dong)部(Bu)件(Jian)的(De)位(Wei)移(Yi),由(You)装(Zhuang)在(Zai)机(Ji)床(Chuang)内(Nei)部(Bu)的(De)双(Shuang)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)测(Ce)距(Ju)系(Xi)统(Tong)随(Sui)机(Ji)精(Jing)确(Que)监(Jian)测(Ce),将(Jiang)数(Shu)据(Ju)反(Fan)馈(Kui)给(Gei)精(Jing)密(Mi)数(Shu)控(Kong)系(Xi)统(Tong),进(Jin)行(Xing)闭(Bi)环(Huan)控(Kong)制(Zhi),保(Bao)证(Zheng)位(Wei)移(Yi)运(Yun)动(Dong)的(De)高(Gao)精(Jing)度(Du)。(?)例(Li)如(Ru)Mome公(Gong)司(Si)的(De)M18AG型(Xing)和(He) Pneumo公(Gong)司(Si)的(De)MSC325型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang),都(Du)在(Zai)机(Ji)床(Chuang)内(Nei)装(Zhuang)有(You)两(Liang)套(Tao)密(Mi)封(Feng)的(De)双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)测(Ce)距(Ju)系(Xi)统(Tong),精(Jing)确(Que)监(Jian)测(Ce)Z向(Xiang)和(He)X向(Xiang)的(De)位(Wei)移(Yi)。(?)双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)系(Xi)统(Tong)的(De)测(Ce)量(Liang)精(Jing)度(Du)受(Shou)环(Huan)境(Jing)干(Gan)扰(Rao)(如(Ru)温(Wen)度(Du)湿(Shi)度(Du)、(?)气(Qi)压(Ya)、(?)气(Qi)流(Liu)尘(Chen)埃(Ai)、(?)振(Zhen)动(Dong)等(Deng))影(Ying)响(Xiang)甚(Shen)大(Da),因(Yin)此(Ci)必(Bi)须(Xu)采(Cai)用(Yong)保(Bao)护(Hu)、(?)密(Mi)封(Feng)和(He)补(Bu)偿(Chang)修(Xiu)正(Zheng)等(Deng)措(Cuo)施(Shi)才(Cai)能(Neng)得(De)到(Dao)精(Jing)确(Que)的(De)测(Ce)量(Liang)结(Jie)果(Guo)。(?)
(?) (?)下(Xia)面(Mian)是(Shi)美(Mei)国(Guo)LNL**实(Shi)验(Yan)室(Shi)的(De)IODM大(Da)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)中(Zhong),使(Shi)用(Yong)双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)仪(Yi)进(Jin)行(Xing)随(Sui)机(Ji)监(Jian)测(Ce)的(De)例(Li)子(Zi)。(?)
(?) (?)IODTM大(Da)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)系(Xi)立(Li)车(Che)形(Xing)式(Shi),滑(Hua)座(Zuo)(重(Zhong)18t)在(Zai)机(Ji)床(Chuang)的(De)横(Heng)梁(Liang)导(Dao)轨(Gui)中(Zhong)作(Zuo)水(Shui)平(Ping)的(De)X向(Xiang)运(Yun)刀(Dao)座(Zuo)(20kg)在(Zai)滑(Hua)座(Zuo)的(De)导(Dao)轨(Gui)中(Zhong)作(Zuo)垂(Chui)直(Zhi)的(De)z向(Xiang)运(Yun)动(Dong)。(?)使(Shi)用(Yong)双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)测(Ce)距(Ju)系(Xi)统(Tong)对(Dui)X向(Xiang)和(He)z向(Xiang)位(Wei)移(Yi)进(Jin)行(Xing)检(Jian)测(Ce),双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)检(Jian)测(Ce)系(Xi)统(Tong)的(De)总(Zong)体(Ti)布(Bu)局(Ju)如(Ru)图(Tu)中(Zhong)所(Suo)示(Shi)。(?)系(Xi)统(Tong)中(Zhong)共(Gong)有(You)7套(Tao)双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)系(Xi)统(Tong),共(Gong)用(Yong)一(Yi)套(Tao)双(Shuang)频(Pin)氮(Dan)氖(Nai)激(Ji)光(Guang)器(Qi)作(Zuo)为(Wei)激(Ji)光(Guang)源(Yuan)经(Jing)分(Fen)光(Guang)镜(Jing)分(Fen)成(Cheng)不(Bu)同(Tong)光(Guang)路(Lu)。(?)在(Zai)机(Ji)床(Chuang)横(Heng)梁(Liang)的(De)左(Zuo)端(Duan)有(You)独(Du)立(Li)的(De)检(Jian)测(Ce)基(Ji)架(Jia)(用(Yong)热(Re)膨(Peng)胀(Zhang)系(Xi)数(Shu)很(Hen)低(Di)的(De)钢(Gang)钢(Gang)制(Zhi)造(Zao)),上(Shang)面(Mian)装(Zhuang)4套(Tao)激(Ji)光(Guang)千(Qian)涉(She)仪(Yi),在(Zai)滑(Hua)座(Zuo)上(Shang)有(You)相(Xiang)应(Ying)的(De)反(Fan)射(She)镜(Jing)检(Jian)测(Ce)滑(Hua)座(Zuo)的(De)水(Shui)平(Ping)“X向(Xiang)”位(Wei)移(Yi),用(Yong)4套(Tao)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)仪(Yi)的(De)原(Yuan)因(Yin)是(Shi)防(Fang)止(Zhi)滑(Hua)座(Zuo)运(Yun)动(Dong)时(Shi)的(De)歪(Wai)斜(Xie)。(?)在(Zai)滑(Hua)座(Zuo)的(De)顶(Ding)部(Bu)装(Zhuang)有(You)三(San)套(Tao)激(Ji)光(Guang)于(Yu)涉(She)仪(Yi),检(Jian)测(Ce)刀(Dao)座(Zuo)的(De)垂(Chui)直(Zhi)“Z向(Xiang)”位(Wei)移(Yi),使(Shi)用(Yong)三(San)套(Tao)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)仪(Yi)的(De)原(Yuan)因(Yin)也(Ye)是(Shi)要(Yao)防(Fang)止(Zhi)刀(Dao)座(Zuo)运(Yun)动(Dong)时(Shi)的(De)歪(Wai)斜(Xie)。(?)采(Cai)用(Yong)上(Shang)述(Shu)多(Duo)路(Lu)双(Shuang)频(Pin)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)测(Ce)量(Liang)系(Xi)统(Tong),可(Ke)得(De)很(Hen)高(Gao)测(Ce)量(Liang)精(Jing)度(Du),精(Jing)密(Mi)数(Shu)控(Kong)系(Xi)统(Tong)根(Gen)据(Ju)测(Ce)量(Liang)结(Jie)果(Guo)进(Jin)行(Xing)反(Fan)馈(Kui)控(Kong)制(Zhi),使(Shi)运(Yun)动(Dong)部(Bu)件(Jian)达(Da)到(Dao)极(Ji)高(Gao)的(De)运(Yun)动(Dong)位(Wei)移(Yi)精(Jing)度(Du),从(Cong)而(?)达(Da)到(Dao)极(Ji)高(Gao)的(De)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)。(?)