(?) (?)第(Di)二(?)次(Ci)世(Shi)界(Jie)大(Da)战(Zhan)后(Hou)的(De)50年(Nian)代(Dai)后(Hou)期(Qi),美(Mei)国(Guo)***先(Xian)开(Kai)始(Shi)进(Jin)行(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)方(Fang)面(Mian)的(De)研(Yan)究(Jiu),当(Dang)时(Shi)因(Yin)开(Kai)发(Fa)激(Ji)光(Guang)核(He)聚(Ju)变(Bian)实(Shi)验(Yan)装(Zhuang)置(Zhi)和(He)红(Hong)外(Wai)线(Xian)实(Shi)验(Yan)装(Zhuang)置(Zhi)需(Xu)要(Yao)大(Da)型(Xing)金(Jin)属(Shu)反(Fan)射(She)镜(Jing),因(Yin)而(?)急(Ji)需(Xu)开(Kai)发(Fa)制(Zhi)作(Zuo)反(Fan)射(She)镜(Jing)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)。(?)因(Yin)这(Zhe)种(Zhong)技(Ji)术(Shu)主(Zhu)要(Yao)是(Shi)军(Jun)工(Gong)需(Xu)要(Yao),故(Gu)以(Yi)**和(He)军(Jun)方(Fang)的(De)有(You)关(Guan)研(Yan)究(Jiu)所(Suo)为(Wei)主(Zhu)导(Dao),进(Jin)行(Xing)了(Liao)强(Qiang)有(You)力(Li)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)的(De)开(Kai)发(Fa)。(?)在(Zai)60年(Nian)代(Dai)超(Chao)精(Jing)密(Mi)专(Zhuan)用(Yong)机(Ji)床(Chuang)开(Kai)始(Shi)商(Shang)品(Pin)化(Hua),出(Chu)现(Xian)了(Liao)加(Jia)工(Gong)激(Ji)光(Guang)核(He)聚(Ju)变(Bian)反(Fan)射(She)镜(Jing)、(?)战(Zhan)术(Shu)导(Dao)弹(Dan)及(Ji)载(Zai)人(Ren)飞(Fei)船(Chuan)用(Yong)零(Ling)件(Jian)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)。(?)到(Dao)80年(Nian)代(Dai)末(Mo),超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)综(Zong)合(He)性(Xing)技(Ji)术(Shu)趋(Qu)于(Yu)成(Cheng)熟(Shu),而(?)且(Qie)从(Cong)国(Guo)防(Fang)工(Gong)业(Ye)扩(Kuo)展(Zhan)到(Dao)民(Min)用(Yong)工(Gong)业(Ye),如(Ru)加(Jia)工(Gong)计(Ji)算(Suan)机(Ji)的(De)磁(Ci)盘(Pan)、(?)复(Fu)印(Yin)机(Ji)的(De)硒(Xi)鼓(Gu)、(?)录(Lu)像(Xiang)机(Ji)的(De)磁(Ci)鼓(Gu)、(?)激(Ji)光(Guang)打(Da)印(Yin)机(Ji)的(De)多(Duo)面(Mian)棱(Leng)镜(Jing)等(Deng),因(Yin)此(Ci),要(Yao)求(Qiu)发(Fa)展(Zhan)高(Gao)生(Sheng)产(Chan)率(Lu)的(De)中(Zhong)小(Xiao)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)。(?)目(Mu)前(Qian),美(Mei)国(Guo)从(Cong)事(Shi)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)制(Zhi)造(Zao)比(Bi)较(Jiao)有(You)名(Ming)的(De)公(Gong)司(Si)、(?)企(Qi)业(Ye)至(Zhi)少(Shao)有(You)30家(Jia),其(Qi)中(Zhong)***具(Ju)代(Dai)表(Biao)性(Xing)并(Bing)取(Qu)得(De)重(Zhong)大(Da)成(Cheng)果(Guo)的(De)是(Shi)美(Mei)国(Guo)联(Lian)合(He)碳(Tan)化(Hua)物(Wu)公(Gong)司(Si)和(He)劳(Lao)伦(Lun)斯(Si)·里(Li)佛(Fo)莫(Mo)尔(?)**实(Shi)验(Yan)室(Shi)。(?)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)的(De)发(Fa)展(Zhan)使(Shi)美(Mei)国(Guo)在(Zai)航(Hang)空(Kong)、(?)航(Hang)天(Tian)、(?)核(He)能(Neng)方(Fang)面(Mian)取(Qu)得(De)了(Liao)许(Xu)多(Duo)重(Zhong)大(Da)的(De)成(Cheng)就(Jiu)。(?)
(?) (?)美(Mei)国(Guo)在(Zai)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)生(Sheng)产(Chan)方(Fang)面(Mian)居(Ju)世(Shi)界(Jie)领(Ling)先(Xian)地(Di)位(Wei)。(?)如(Ru)LJML**实(Shi)验(Yan)室(Shi)的(De)大(Da)型(Xing)光(Guang)学(Xue)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)车(Che)床(Chuang)和(He)3型(Xing)大(Da)型(Xing)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)车(Che)床(Chuang),是(Shi)现(Xian)在(Zai)世(Shi)界(Jie)公(Gong)认(Ren)的(De)水(Shui)平(Ping)***高(Gao)的(De)、(?)达(Da)到(Dao)当(Dang)前(Qian)技(Ji)术(Shu)***前(Qian)沿(Yan)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)车(Che)床(Chuang)。(?)由(You)于(Yu)美(Mei)国(Guo)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)水(Shui)平(Ping)较(Jiao)高(Gao),商(Shang)品(Pin)生(Sheng)产(Chan)不(Bu)仅(Jin)国(Guo)内(Nei)使(Shi)用(Yong),还(Huan)有(You)相(Xiang)当(Dang)多(Duo)的(De)出(Chu)比(Bi)较(Jiao)著(Zhu)名(Ming)的(De)有(You)More公(Gong)司(Si)的(De)M18AG型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)非(Fei)球(Qiu)面(Mian)车(Che)床(Chuang)和(He)Peum公(Gong)司(Si)的(De)MSC325型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)非(Fei)球(Qiu)面(Mian)车(Che)床(Chuang)等(Deng)。(?)
(?) (?)由(You)于(Yu)各(Ge)国(Guo)对(Dui)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)都(Du)保(Bao)密(Mi)、(?)不(Bu)予(Yu)外(Wai)传(Chuan),故(Gu)欧(Ou)洲(Zhou)的(De)主(Zhu)要(Yao)园(Yuan)家(Jia)如(Ru)德(De)国(Guo)、(?)英(Ying)国(Guo)、(?)法(Fa)园(Yuan)瑞(Rui)士(Shi)、(?)意(Yi)大(Da)利(Li)、(?)荷(He)兰(Lan)等(Deng)**都(Du)投(Tou)入(Ru)很(Hen)大(Da)人(Ren)力(Li)物(Wu)力(Li)进(Jin)行(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)的(De)开(Kai)发(Fa)研(Yan)究(Jiu)。(?)这(Zhe)些(Xie)**生(Sheng)产(Chan)的(De)中(Zhong)小(Xiao)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)有(You)较(Jiao)高(Gao)水(Shui)平(Ping),近(Jin)年(Nian)来(Lai)又(You)投(Tou)人(Ren)力(Li)量(Liang)研(Yan)究(Jiu)开(Kai)发(Fa)大(Da)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)车(Che)床(Chuang)。(?)如(Ru),在(Zai)欧(Ou)洲(Zhou)以(Yi)具(Ju)有(You)研(Yan)究(Jiu)开(Kai)发(Fa)超(Chao)精(Jing)密(Mi)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)切(Qie)削(Xiao)加(Jia)工(Gong)机(Ji)械(Xie)传(Chuan)统(Tong)的(De)荷(He)兰(Lan)的(De)菲(Fei)利(Li)浦(Pu)公(Gong)司(Si)的(De)中(Zhong)央(Yang)研(Yan)究(Jiu)所(Suo)为(Wei)中(Zhong)心(Xin),研(Yan)究(Jiu)开(Kai)发(Fa)CNC超(Chao)精(Jing)密(Mi)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)车(Che)床(Chuang) COLATH,1908年(Nian)以(Yi)后(Hou)用(Yong)于(Yu)本(Ben)司(Si)的(De)高(Gao)精(Jing)度(Du)零(Ling)件(Jian)的(De)加(Jia)工(Gong)。(?)英(Ying)国(Guo)Cranfield大(Da)学(Xue)与(Yu) British Science and Engineering Research Council(SERC)签(Qian)定(Ding)合(He)同(Tong)研(Yan)制(Zhi)开(Kai)发(Fa)X射(She)线(Xian)天(Tian)体(Ti)鳃(Sai)远(Yuan)镜(Jing)用(Yong)大(Da)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)车(Che)床(Chuang)。(?)
(?) (?)日(Ri)本(Ben)研(Yan)究(Jiu)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)起(Qi)步(Bu)较(Jiao)晚(Wan),70年(Nian)代(Dai)中(Zhong)期(Qi)才(Cai)开(Kai)始(Shi),而(?)且(Qie)是(Shi)根(Gen)据(Ju)电(Dian)子(Zi)和(He)光(Guang)学(Xue)等(Deng)民(Min)用(Yong)需(Xu)要(Yao)开(Kai)始(Shi)研(Yan)究(Jiu)的(De)。(?)但(Dan)是(Shi),由(You)于(Yu)得(De)到(Dao)有(You)关(Guan)方(Fang)面(Mian)的(De)重(Zhong)视(Shi),投(Tou)入(Ru)大(Da)量(Liang)的(De)人(Ren)力(Li)物(Wu)力(Li)去(Qu)开(Kai)发(Fa),有(You)计(Ji)划(Hua)地(Di)引(Yin)进(Jin)先(Xian)进(Jin)技(Ji)术(Shu)并(Bing)深(Shen)入(Ru)剖(Pou)析(Xi),从(Cong)面(Mian)使(Shi)研(Yan)制(Zhi)的(De)产(Chan)品(Pin)很(Hen)快(Kuai)达(Da)到(Dao)甚(Shen)至(Zhi)超(Chao)过(Guo)引(Yin)进(Jin)产(Chan)品(Pin)的(De)水(Shui)平(Ping),因(Yin)此(Ci)在(Zai)发(Fa)展(Zhan)速(Su)度(Du)上(Shang)迫(Po)上(Shang)美(Mei)国(Guo),而(?)且(Qie)在(Zai)技(Ji)术(Shu)上(Shang)可(Ke)以(Yi)与(Yu)美(Mei)国(Guo)抗(Kang)衡(Heng),并(Bing)且(Qie)民(Min)用(Yong)工(Gong)业(Ye)向(Xiang)精(Jing)密(Mi)化(Hua)发(Fa)展(Zhan)。(?)特(Te)别(Bie)是(Shi)日(Ri)本(Ben)在(Zai)80年(Nian)代(Dai)开(Kai)发(Fa)小(Xiao)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)CNC车(Che)床(Chuang)方(Fang)面(Mian)已(Yi)走(Zou)在(Zai)世(Shi)界(Jie)的(De)前(Qian)列(Lie),约(Yue)有(You)20家(Jia)厂(Chang)商(Shang)如(Ru)丰(Feng)田(Tian)工(Gong)机(Ji)、(?)东(Dong)芝(Zhi)机(Ji)槭(Qi)、(?)不(Bu)二(?)越(Yue)、(?)日(Ri)立(Li)精(Jing)工(Gong)、(?)理(Li)研(Yan)制(Zhi)钢(Gang)、(?)日(Ri)本(Ben)精(Jing)密(Mi)研(Yan)究(Jiu)所(Suo)等(Deng)都(Du)研(Yan)究(Jiu)生(Sheng)产(Chan)小(Xiao)型(Xing)CNC超(Chao)精(Jing)密(Mi)车(Che)床(Chuang)。(?)由(You)于(Yu)许(Xu)多(Duo)机(Ji)床(Chuang)采(Cai)用(Yong)了(Liao)高(Gao)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)的(De)数(Shu)控(Kong)系(Xi)统(Tong)和(He)高(Gao)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)的(De)激(Ji)光(Guang)干(Gan)涉(She)测(Ce)量(Liang)系(Xi)统(Tong)以(Yi)及(Ji)其(Qi)他(Ta)一(Yi)些(Xie)先(Xian)进(Jin)技(Ji)术(Shu),因(Yin)而(?)可(Ke)以(Yi)加(Jia)工(Gong)多(Duo)种(Zhong)高(Gao)糖(Tang)度(Du)复(Fu)杂(Za)球(Qiu)面(Mian)。(?)一(Yi)些(Xie)作(Zuo)为(Wei)商(Shang)品(Pin)出(Chu)售(Shou)的(De)小(Xiao)型(Xing)精(Jing)密(Mi)车(Che)床(Chuang),其(Qi)加(Jia)工(Gong)糟(Zao)度(Du)已(Yi)超(Chao)过(Guo)0.1nm,加(Jia)工(Gong)表(Biao)面(Mian)粗(Cu)糙(Cao)度(Du)要(Yao)低(Di)于(Yu)但(Dan)在(Zai)大(Da)型(Xing)超(Chao)糟(Zao)密(Mi)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)车(Che)削(Xiao)机(Ji)床(Chuang)的(De)研(Yan)究(Jiu)与(Yu)开(Kai)发(Fa)方(Fang)面(Mian),远(Yuan)远(Yuan)落(Luo)后(Hou)于(Yu)欧(Ou)美(Mei),至(Zhi)今(Jin)未(Wei)见(Jian)有(You)关(Guan)的(De)报(Bao)导(Dao)。(?)日(Ri)本(Ben)有(You)关(Guan)方(Fang)面(Mian)正(Zheng)大(Da)声(Sheng)疾(Ji)呼(Hu)在(Zai)这(Zhe)方(Fang)面(Mian)积(Ji)极(Ji)赶(Gan)上(Shang)欧(Ou)美(Mei)。(?)
(?) (?)我(Wo)国(Guo)从(Cong)60年(Nian)代(Dai)开(Kai)始(Shi)发(Fa)展(Zhan)精(Jing)密(Mi)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang),经(Jing)过(Guo)30多(Duo)年(Nian)的(De)努(Nu)力(Li),我(Wo)国(Guo)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)现(Xian)在(Zai)已(Yi)有(You)一(Yi)定(Ding)的(De)水(Shui)平(Ping)。(?)沈(Shen)阳(Yang)、(?)济(Ji)南(Nan)、(?)上(Shang)海(Hai)等(Deng)也(Ye)都(Du)有(You)超(Chao)精(Jing)密(Mi)车(Che)床(Chuang)产(Chan)品(Pin);1987年(Nian)北(Bei)京(Jing)机(Ji)床(Chuang)研(Yan)究(Jiu)所(Suo)又(You)研(Yan)制(Zhi)成(Cheng)功(Gong)空(Kong)气(Qi)轴(Zhou)承(Cheng)主(Zhu)轴(Zhou)的(De)加(Jia)工(Gong)球(Qiu)面(Mian)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)车(Che)床(Chuang)。(?)我(Wo)国(Guo)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)近(Jin)年(Nian)虽(Sui)有(You)较(Jiao)快(Kuai)发(Fa)展(Zhan)和(He)提(Ti)高(Gao),但(Dan)和(He)工(Gong)业(Ye)发(Fa)达(Da)**相(Xiang)比(Bi)还(Huan)有(You)较(Jiao)大(Da)差(Cha)距(Ju)。(?)主(Zhu)要(Yao)表(Biao)现(Xian)在(Zai)超(Chao)精(Jing)密(Mi)非(Fei)球(Qiu)曲(Qu)面(Mian)车(Che)床(Chuang)还(Huan)不(Bu)能(Neng)生(Sheng)产(Chan);机(Ji)床(Chuang)的(De)精(Jing)度(Du)一(Yi)般(Ban)要(Yao)比(Bi)国(Guo)外(Wai)的(De)低(Di)一(Yi)个(Ge)等(Deng)级(Ji);机(Ji)床(Chuang)精(Jing)度(Du)的(De)保(Bao)持(Chi)时(Shi)间(Jian)大(Da)大(Da)低(Di)于(Yu)国(Guo)外(Wai);精(Jing)密(Mi)空(Kong)气(Qi)主(Zhu)轴(Zhou)、(?)微(Wei)位(Wei)移(Yi)机(Ji)构(Gou)、(?)精(Jing)密(Mi)CNC伺(Si)服(Fu)系(Xi)统(Tong),机(Ji)床(Chuang)热(Re)变(Bian)形(Xing)和(He)精(Jing)密(Mi)恒(Heng)温(Wen)控(Kong)制(Zhi)、(?)结(Jie)构(Gou)稳(Wen)定(Ding)性(Xing)和(He)防(Fang)振(Zhen)隔(Ge)振(Zhen)技(Ji)术(Shu)等(Deng)都(Du)亟(Ji)待(Dai)深(Shen)入(Ru)研(Yan)究(Jiu)。(?)因(Yin)此(Ci),对(Dui)精(Jing)度(Du)要(Yao)求(Qiu)高(Gao)的(De)精(Jing)密(Mi)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang),还(Huan)不(Bu)得(De)不(Bu)从(Cong)国(Guo)外(Wai)进(Jin)日(Ri)。(?)
(?) (?)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)进(Jin)一(Yi)步(Bu)发(Fa)展(Zhan)对(Dui)精(Jing)度(Du)提(Ti)出(Chu)新(Xin)的(De)要(Yao)求(Qiu),美(Mei)国(Guo)POMA计(Ji)划(Hua)可(Ke)作(Zuo)为(Wei)代(Dai)表(Biao)。(?)80年(Nian)代(Dai),美(Mei)国(Guo) Union Carbide公(Gong)司(Si)、(?) Moore公(Gong)司(Si)和(He)美(Mei)国(Guo)空(Kong)军(Jun)兵(Bing)器(Qi)研(Yan)究(Jiu)所(Suo)等(Deng)制(Zhi)订(Ding)了(Liao)一(Yi)项(Xiang)有(You)意(Yi)义(Yi)的(De)计(Ji)划(Hua),其(Qi)目(Mu)标(Biao)是(Shi)将(Jiang)直(Zhi)径(Jing)800m的(De)大(Da)型(Xing)球(Qiu)面(Mian)反(Fan)射(She)镜(Jing)的(De)形(Xing)状(Zhuang)精(Jing)度(Du)控(Kong)制(Zhi)0lym以(Yi)内(Nei),将(Jiang)机(Ji)床(Chuang)的(De)运(Yun)动(Dong)误(Wu)差(Cha)降(Jiang)低(Di)到(Dao)十(Shi)分(Fen)之(Zhi)一(Yi)。(?)由(You)于(Yu)该(Gai)项(Xiang)目(Mu)的(De)目(Mu)标(Biao)为(Wei) Point One Micrometer Accuracy(0.1m级(Ji)精(Jing)度(Du)),因(Yin)此(Ci)称(Cheng)为(Wei)POMA计(Ji)划(Hua),该(Gai)计(Ji)划(Hua)举(Ju)世(Shi)闻(Wen)名(Ming),所(Suo)产(Chan)生(Sheng)的(De)影(Ying)响(Xiang)十(Shi)分(Fen)深(Shen)远(Yuan)。(?)表(Biao)51是(Shi)POMA计(Ji)划(Hua)对(Dui)机(Ji)床(Chuang)精(Jing)度(Du)的(De)具(Ju)体(Ti)要(Yao)求(Qiu),可(Ke)见(Jian)对(Dui)机(Ji)床(Chuang)精(Jing)度(Du)要(Yao)求(Qiu)甚(Shen)高(Gao)。(?)
