精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)处(Chu)于(Yu)发(Fa)展(Zhan)中(Zhong),(?)当(Dang)前(Qian)有(You)以(Yi)下(Xia)几(Ji)个(Ge)特(Te)点(Dian)。(?)
(1)形(Xing)成(Cheng)了(Liao)系(Xi)统(Tong)工(Gong)程(Cheng)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)是(Shi)一(Yi)门(Men)多(Duo)学(Xue)科(Ke)的(De)综(Zong)合(He)高(Gao)级(Ji)技(Ji)术(Shu),(?)要(Yao)达(Da)到(Dao)高(Gao)精(Jing)度(Du)和(He)高(Gao)表(Biao)面(Mian)质(Zhi)量(Liang),(?)不(Bu)仅(Jin)要(Yao)考(Kao)虑(Lu)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa)本(Ben)身(Shen),(?)而(?)且(Qie)涉(She)及(Ji)被(Bei)加(Jia)工(Gong)材(Cai)料(Liao)、(?)加(Jia)工(Gong)设(She)备(Bei)及(Ji)工(Gong)艺(Yi)装(Zhuang)备(Bei)、(?)检(Jian)测(Ce)方(Fang)法(Fa)、(?)工(Gong)作(Zuo)环(Huan)境(Jing)和(He)人(Ren)的(De)技(Ji)艺(Yi)水(Shui)平(Ping)等(Deng)。(?)因(Yin)此(Ci),(?)孤(Gu)立(Li)的(De)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa)是(Shi)不(Bu)能(Neng)达(Da)到(Dao)预(Yu)定(Ding)的(De)效(Xiao)果(Guo)的(De),(?)必(Bi)须(Xu)有(You)综(Zong)合(He)技(Ji)术(Shu)和(He)条(Tiao)件(Jian)的(De)支(Zhi)持(Chi),(?)从(Cong)而(?)形(Xing)成(Cheng)了(Liao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)系(Xi)统(Tong)工(Gong)程(Cheng)。(?)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)与(Yu)系(Xi)统(Tong)论(Lun)、(?)方(Fang)法(Fa)论(Lun)、(?)计(Ji)算(Suan)机(Ji)技(Ji)术(Shu)、(?)信(Xin)息(Xi)技(Ji)术(Shu)、(?)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)技(Ji)术(Shu)、(?)数(Shu)字(Zi)控(Kong)制(Zhi)技(Ji)术(Shu)的(De)结(Jie)合(He),(?)更(Geng)促(Cu)成(Cheng)了(Liao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)系(Xi)统(Tong)工(Gong)程(Cheng)的(De)形(Xing)成(Cheng)。(?)在(Zai)研(Yan)究(Jiu)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)理(Li)论(Lun)和(He)表(Biao)面(Mian)形(Xing)成(Cheng)机(Ji)理(Li)、(?)建(Jian)立(Li)数(Shu)学(Xue)模(Mo)型(Xing)的(De)同(Tong)时(Shi),(?)还(Huan)要(Yao)研(Yan)究(Jiu)各(Ge)项(Xiang)相(Xiang)关(Guan)技(Ji)术(Shu)。(?)
(2)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)与(Yu)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)细(Xi)加(Jia)工(Gong)关(Guan)系(Xi)密(Mi)切(Qie) (?)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)是(Shi)指(Zhi)制(Zhi)造(Zao)微(Wei)小(Xiao)尺(Chi)寸(Cun)零(Ling)件(Jian)和(He)超(Chao)微(Wei)小(Xiao)尺(Chi)寸(Cun)零(Ling)件(Jian)的(De)生(Sheng)产(Chan)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)。(?)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)的(De)出(Chu)现(Xian)和(He)发(Fa)展(Zhan)与(Yu)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)密(Mi)切(Qie)相(Xiang)关(Guan),(?)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)要(Yao)求(Qiu)在(Zai)微(Wei)小(Xiao)面(Mian)积(Ji)的(De)半(Ban)导(Dao)体(Ti)材(Cai)料(Liao)芯(Xin)片(Pian)上(Shang)制(Zhi)造(Zao)出(Chu)更(Geng)多(Duo)的(De)元(Yuan)件(Jian),(?)形(Xing)成(Cheng)各(Ge)种(Zhong)复(Fu)杂(Za)功(Gong)能(Neng)的(De)电(Dian)路(Lu)。(?)因(Yin)此(Ci),(?)单(Dan)元(Yuan)芯(Xin)片(Pian)上(Shang)的(De)单(Dan)元(Yuan)逻(Luo)辑(Ji)门(Men)电(Dian)路(Lu)数(Shu)、(?)单(Dan)元(Yuan)芯(Xin)片(Pian)上(Shang)的(De)子(Zi)元(Yuan)件(Jian)数(Shu)和(He)***小(Xiao)线(Xian)条(Tiao)宽(Kuan)度(Du)是(Shi)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)集(Ji)成(Cheng)度(Du)的(De)标(Biao)志(Zhi),(?)同(Tong)时(Shi)也(Ye)表(Biao)示(Shi)了(Liao)其(Qi)制(Zhi)造(Zao)难(Nan)度(Du)和(He)水(Shui)平(Ping)。(?)表(Biao)中(Zhong)列(Lie)出(Chu)了(Liao)小(Xiao)、(?)中(Zhong)、(?)大(Da)、(?)超(Chao)大(Da)规(Gui)模(Mo)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)的(De)参(Can)数(Shu)与(Yu)性(Xing)能(Neng)。(?)
(?) (?)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)与(Yu)一(Yi)般(Ban)尺(Chi)寸(Cun)加(Jia)工(Gong)在(Zai)概(Gai)念(Nian)和(He)机(Ji)理(Li)上(Shang)是(Shi)不(Bu)同(Tong)的(De),(?)一(Yi)般(Ban)尺(Chi)寸(Cun)加(Jia)工(Gong)时(Shi),(?)精(Jing)度(Du)是(Shi)用(Yong)公(Gong)差(Cha)单(Dan)位(Wei)来(Lai)表(Biao)示(Shi)的(De),(?)公(Gong)差(Cha)=公(Gong)差(Cha)等(Deng)级(Ji)系(Xi)数(Shu)x公(Gong)差(Cha)单(Dan)位(Wei),(?)相(Xiang)同(Tong)精(Jing)度(Du)有(You)相(Xiang)等(Deng)的(De)公(Gong)差(Cha)等(Deng)级(Ji)系(Xi)数(Shu),(?)但(Dan)公(Gong)差(Cha)单(Dan)位(Wei)随(Sui)基(Ji)本(Ben)尺(Chi)寸(Cun)的(De)大(Da)小(Xiao)面(Mian)不(Bu)同(Tong),(?)基(Ji)本(Ben)尺(Chi)寸(Cun)愈(Yu)大(Da),(?)公(Gong)差(Cha)单(Dan)位(Wei)愈(Yu)大(Da),(?)按(An)基(Ji)本(Ben)尺(Chi)寸(Cun)的(De)分(Fen)段(Duan)范(Fan)围(Wei)有(You)不(Bu)同(Tong)的(De)公(Gong)式(Shi)来(Lai)计(Ji)算(Suan)。(?)面(Mian)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)时(Shi),(?)由(You)于(Yu)加(Jia)工(Gong)尺(Chi)寸(Cun)很(Hen)小(Xiao),(?)精(Jing)度(Du)就(Jiu)用(Yong)尺(Chi)寸(Cun)的(De)绝(Jue)对(Dui)值(Zhi)来(Lai)表(Biao)示(Shi)。(?)因(Yin)为(Wei)从(Cong)工(Gong)件(Jian)的(De)角(Jiao)度(Du)来(Lai)看(Kan),(?)一(Yi)般(Ban)加(Jia)工(Gong)和(He)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)的(De)***大(Da)差(Cha)别(Bie)是(Shi)切(Qie)屑(Xie)的(De)大(Da)小(Xiao)(厚(Hou)度(Du))不(Bu)同(Tong)。(?)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)时(Shi)背(Bei)吃(Chi)刀(Dao)量(Liang)极(Ji)小(Xiao),(?)切(Qie)削(Xiao)在(Zai)材(Cai)料(Liao)的(De)晶(Jing)体(Ti)内(Nei)部(Bu)进(Jin)行(Xing),(?)切(Qie)削(Xiao)去(Qu)除(Chu)量(Liang)用(Yong)“加(Jia)工(Gong)单(Dan)位(Wei)尺(Chi)寸(Cun)”或(Huo)称(Cheng)“加(Jia)工(Gong)单(Dan)位(Wei)”来(Lai)表(Biao)示(Shi),(?)加(Jia)工(Gong)单(Dan)位(Wei)”的(De)大(Da)小(Xiao)代(Dai)表(Biao)了(Liao)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)的(De)水(Shui)平(Ping),(?)如(Ru)分(Fen)子(Zi)级(Ji)加(Jia)工(Gong)、(?)原(Yuan)子(Zi)级(Ji)加(Jia)工(Gong)。(?)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)与(Yu)一(Yi)般(Ban)尺(Chi)寸(Cun)加(Jia)工(Gong)虽(Sui)然(Ran)在(Zai)概(Gai)念(Nian)和(He)机(Ji)理(Li)上(Shang)有(You)所(Suo)不(Bu)同(Tong),(?)但(Dan)从(Cong)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)上(Shang)来(Lai)看(Kan),(?)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)主(Zhu)要(Yao)是(Shi)加(Jia)工(Gong)微(Wei)小(Xiao)尺(Chi)寸(Cun),(?)而(?)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)既(Ji)加(Jia)工(Gong)大(Da)尺(Chi)寸(Cun),(?)也(Ye)加(Jia)工(Gong)小(Xiao)尺(Chi)寸(Cun),(?)因(Yin)此(Ci),(?)微(Wei)细(Xi)加(Jia)工(Gong)是(Shi)属(Shu)于(Yu)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)范(Fan)畴(Chou)。(?)实(Shi)际(Ji)上(Shang),(?)两(Liang)者(Zhe)的(De)许(Xu)多(Duo)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa)都(Du)是(Shi)相(Xiang)同(Tong)的(De),(?)只(Zhi)是(Shi)加(Jia)工(Gong)对(Dui)象(Xiang)有(You)所(Suo)不(Bu)同(Tong)而(?)已(Yi)。(?)
(3)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)与(Yu)特(Te)种(Zhong)加(Jia)工(Gong)关(Guan)系(Xi)密(Mi)切(Qie) (?)特(Te)种(Zhong)加(Jia)工(Gong)是(Shi)指(Zhi)利(Li)用(Yong)机(Ji)、(?)光(Guang)、(?)电(Dian)、(?)声(Sheng)、(?)热(Re)、(?)化(Hua)学(Xue)、(?)磁(Ci)、(?)原(Yuan)子(Zi)等(Deng)能(Neng)源(Yuan)来(Lai)进(Jin)行(Xing)加(Jia)工(Gong)的(De)非(Fei)传(Chuan)统(Tong)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa),(?)近(Jin)年(Nian)来(Lai)发(Fa)展(Zhan)很(Hen)快(Kuai),(?)不(Bu)仅(Jin)可(Ke)以(Yi)采(Cai)取(Qu)单(Dan)独(Du)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa),(?)更(Geng)可(Ke)采(Cai)用(Yong)复(Fu)合(He)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa),(?)应(Ying)用(Yong)十(Shi)分(Fen)广(Guang)泛(Fan)。(?)目(Mu)前(Qian),(?)许(Xu)多(Duo)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)题(Ti)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa)采(Cai)用(Yong)了(Liao)激(Ji)光(Guang)加(Jia)工(Gong)、(?)离(Li)子(Zi)束(Shu)加(Jia)工(Gong)等(Deng)特(Te)种(Zhong)加(Jia)工(Gong)工(Gong)艺(Yi),(?)开(Kai)辟(Bi)了(Liao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)的(De)新(Xin)途(Tu)径(Jing),(?)一(Yi)些(Xie)高(Gao)硬(Ying)度(Du)、(?)脆(Cui)性(Xing)的(De)难(Nan)加(Jia)工(Gong)材(Cai)料(Liao),(?)如(Ru)淬(Cui)火(Huo)钢(Gang)、(?)硬(Ying)质(Zhi)合(He)金(Jin)、(?)陶(Tao)瓷(Ci)、(?)石(Shi)英(Ying)、(?)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)等(Deng),(?)一(Yi)些(Xie)刚(Gang)度(Du)差(Cha)、(?)加(Jia)工(Gong)中(Zhong)易(Yi)变(Bian)形(Xing)的(De)零(Ling)件(Jian),(?)如(Ru)薄(Bao)壁(Bi)零(Ling)件(Jian)、(?)弹(Dan)性(Xing)零(Ling)件(Jian)等(Deng),(?)在(Zai)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)时(Shi),(?)特(Te)种(Zhong)加(Jia)工(Gong)已(Yi)是(Shi)必(Bi)要(Yao)手(Shou)段(Duan),(?)甚(Shen)至(Zhi)是(Shi)唯(Wei)一(Yi)手(Shou)段(Duan),(?)形(Xing)成(Cheng)了(Liao)精(Jing)密(Mi)特(Te)种(Zhong)加(Jia)工(Gong)。(?)
(?) (?)当(Dang)前(Qian),(?)虽(Sui)然(Ran)传(Chuan)统(Tong)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa)仍(Reng)占(Zhan)有(You)较(Jiao)大(Da)的(De)比(Bi)例(Li),(?)是(Shi)主(Zhu)要(Yao)加(Jia)工(Gong)手(Shou)段(Duan),(?)应(Ying)该(Gai)重(Zhong)视(Shi)并(Bing)进(Jin)一(Yi)步(Bu)发(Fa)展(Zhan),(?)但(Dan)由(You)于(Yu)特(Te)种(Zhong)加(Jia)工(Gong)的(De)迅(Xun)速(Su)兴(Xing)起(Qi),(?)不(Bu)仅(Jin)出(Chu)现(Xian)了(Liao)许(Xu)多(Duo)新(Xin)加(Jia)工(Gong)机(Ji)理(Li),(?)而(?)且(Qie)出(Chu)现(Xian)了(Liao)各(Ge)种(Zhong)复(Fu)合(He)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu),(?)它(Ta)将(Jiang)几(Ji)种(Zhong)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa)融(Rong)合(He)在(Zai)一(Yi)起(Qi),(?)发(Fa)挥(Hui)各(Ge)自(Zi)之(Zhi)所(Suo)长(Chang),(?)相(Xiang)辅(Fu)相(Xiang)成(Cheng),(?)具(Ju)有(You)很(Hen)大(Da)的(De)潜(Qian)力(Li),(?)可(Ke)以(Yi)提(Ti)高(Gao)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)、(?)表(Biao)面(Mian)质(Zhi)量(Liang)和(He)效(Xiao)率(Lu),(?)并(Bing)且(Qie)扩(Kuo)大(Da)了(Liao)加(Jia)工(Gong)应(Ying)用(Yong)范(Fan)围(Wei)。(?)
(4)加(Jia)工(Gong)检(Jian)测(Ce)一(Yi)体(Ti)化(Hua) (?)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)的(De)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)和(He)表(Biao)面(Mian)质(Zhi)量(Liang)都(Du)很(Hen)高(Gao),(?)因(Yin)此(Ci),(?)一(Yi)定(Ding)要(Yao)有(You)相(Xiang)应(Ying)的(De)检(Jian)测(Ce)手(Shou)段(Duan),(?)才(Cai)能(Neng)说(Shuo)明(Ming)是(Shi)否(Fou)达(Da)到(Dao)技(Ji)术(Shu)要(Yao)求(Qiu)。(?)所(Suo)以(Yi),(?)在(Zai)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)中(Zhong),(?)加(Jia)工(Gong)和(He)检(Jian)验(Yan)都(Du)是(Shi)难(Nan)题(Ti),(?)而(?)且(Qie)往(Wang)往(Wang)检(Jian)测(Ce)的(De)难(Nan)度(Du)更(Geng)大(Da),(?)只(Zhi)有(You)采(Cai)用(Yong)加(Jia)工(Gong)检(Jian)测(Ce)一(Yi)体(Ti)化(Hua)的(De)策(Ce)略(Lue),(?)在(Zai)加(Jia)工(Gong)的(De)同(Tong)时(Shi)考(Kao)虑(Lu)检(Jian)测(Ce)。(?)从(Cong)检(Jian)测(Ce)过(Guo)程(Cheng)的(De)同(Tong)时(Shi)来(Lai)分(Fen)析(Xi),(?)检(Jian)测(Ce)可(Ke)分(Fen)为(Wei)离(Li)线(Xian)检(Jian)测(Ce)、(?)在(Zai)位(Wei)检(Jian)测(Ce)和(He)在(Zai)线(Xian)检(Jian)测(Ce)三(San)大(Da)类(Lei)。(?)离(Li)线(Xian)检(Jian)测(Ce)是(Shi)指(Zhi)加(Jia)工(Gong)完(Wan)成(Cheng)后(Hou),(?)在(Zai)检(Jian)验(Yan)室(Shi)检(Jian)测(Ce),(?)因(Yin)此(Ci),(?)加(Jia)工(Gong)与(Yu)检(Jian)测(Ce)是(Shi)分(Fen)离(Li)的(De),(?)如(Ru)果(Guo)检(Jian)测(Ce)不(Bu)合(He)格(Ge),(?)由(You)于(Yu)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)很(Hen)高(Gao),(?)一(Yi)般(Ban)很(Hen)难(Nan)返(Fan)修(Xiu)。(?)在(Zai)位(Wei)检(Jian)测(Ce)是(Shi)指(Zhi)加(Jia)工(Gong)完(Wan)成(Cheng)后(Hou),(?)工(Gong)件(Jian)不(Bu)卸(Xie)下(Xia),(?)在(Zai)机(Ji)床(Chuang)上(Shang)进(Jin)行(Xing)检(Jian)测(Ce),(?)如(Ru)果(Guo)检(Jian)侧(Ce)不(Bu)合(He)格(Ge),(?)可(Ke)及(Ji)时(Shi)返(Fan)修(Xiu),(?)不(Bu)会(Hui)产(Chan)生(Sheng)返(Fan)修(Xiu)时(Shi)再(Zai)次(Ci)装(Zhuang)夹(Jia)造(Zao)成(Cheng)的(De)误(Wu)差(Cha),(?)但(Dan)要(Yao)考(Kao)虑(Lu)离(Li)线(Xian)检(Jian)测(Ce)和(He)在(Zai)位(Wei)检(Jian)测(Ce)由(You)于(Yu)检(Jian)测(Ce)环(Huan)境(Jing)的(De)差(Cha)异(Yi)对(Dui)检(Jian)测(Ce)结(Jie)果(Guo)的(De)影(Ying)响(Xiang)。(?)在(Zai)线(Xian)检(Jian)测(Ce)是(Shi)在(Zai)加(Jia)工(Gong)的(De)过(Guo)程(Cheng)中(Zhong)进(Jin)行(Xing)实(Shi)时(Shi)检(Jian)测(Ce),(?)随(Sui)时(Shi)掌(Zhang)加(Jia)工(Gong)误(Wu)差(Cha)值(Zhi)及(Ji)其(Qi)发(Fa)展(Zhan)趋(Qu)势(Shi),(?)并(Bing)进(Jin)行(Xing)实(Shi)时(Shi)控(Kong)制(Zhi),(?)是(Shi)一(Yi)种(Zhong)动(Dong)态(Tai)检(Jian)测(Ce)过(Guo)程(Cheng)。(?)
(?) (?)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)是(Shi)提(Ti)高(Gao)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)的(De)一(Yi)个(Ge)有(You)效(Xiao)技(Ji)术(Shu)措(Cuo)施(Shi),(?)可(Ke)分(Fen)为(Wei)静(Jing)态(Tai)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)和(He)动(Dong)态(Tai)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)两(Liang)大(Da)类(Lei)。(?)静(Jing)态(Tai)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)主(Zhu)要(Yao)用(Yong)来(Lai)补(Bu)偿(Chang)工(Gong)艺(Yi)系(Xi)统(Tong)中(Zhong)的(De)系(Xi)统(Tong)误(Wu)差(Cha),(?)如(Ru)误(Wu)差(Cha)校(Xiao)正(Zheng)尺(Chi)。(?)动(Dong)态(Tai)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)是(Shi)加(Jia)工(Gong)过(Guo)程(Cheng)中(Zhong)的(De)实(Shi)时(Shi)补(Bu)偿(Chang),(?)可(Ke)以(Yi)补(Bu)偿(Chang)工(Gong)艺(Yi)系(Xi)统(Tong)中(Zhong)的(De)随(Sui)机(Ji)误(Wu)差(Cha)和(He)系(Xi)统(Tong)误(Wu)差(Cha),(?)动(Dong)态(Tai)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)和(He)在(Zai)线(Xian)检(Jian)测(Ce)是(Shi)密(Mi)切(Qie)相(Xiang)关(Guan)的(De)。(?)
(?) (?)数(Shu)控(Kong)技(Ji)术(Shu)、(?)计(Ji)算(Suan)机(Ji)控(Kong)制(Zhi)技(Ji)术(Shu)、(?)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)技(Ji)术(Shu)、(?)微(Wei)位(Wei)移(Yi)机(Ji)构(Gou)的(De)发(Fa)展(Zhan),(?)丰(Feng)富(Fu)了(Liao)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)方(Fang)法(Fa),(?)特(Te)别(Bie)是(Shi)使(Shi)在(Zai)线(Xian)检(Jian)测(Ce)与(Yu)动(Dong)态(Tai)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)有(You)了(Liao)长(Chang)足(Zu)进(Jin)步(Bu)。(?)在(Zai)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)中(Zhong),(?)检(Jian)测(Ce)与(Yu)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)是(Shi)加(Jia)工(Gong)检(Jian)测(Ce)一(Yi)体(Ti)化(Hua)的(De)重(Zhong)要(Yao)举(Ju)措(Cuo)。(?)
(5)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)与(Yu)自(Zi)动(Dong)化(Hua)技(Ji)术(Shu)联(Lian)系(Xi)密(Mi)切(Qie) (?)制(Zhi)造(Zao)自(Zi)动(Dong)化(Hua)是(Shi)先(Xian)进(Jin)制(Zhi)造(Zao)技(Ji)术(Shu)的(De)重(Zhong)要(Yao)组(Zu)成(Cheng)部(Bu)分(Fen),(?)它(Ta)的(De)作(Zuo)用(Yong)不(Bu)仅(Jin)是(Shi)提(Ti)高(Gao)效(Xiao)率(Lu)、(?)提(Ti)高(Gao)劳(Lao)动(Dong)生(Sheng)产(Chan)率(Lu)、(?)改(Gai)善(Shan)工(Gong)作(Zuo)环(Huan)境(Jing)和(He)工(Gong)人(Ren)劳(Lao)动(Dong)条(Tiao)件(Jian),(?)而(?)且(Qie)是(Shi)提(Ti)高(Gao)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)和(He)表(Biao)面(Mian)质(Zhi)量(Liang)、(?)避(Bi)免(Mian)手(Shou)工(Gong)操(Cao)作(Zuo)引(Yin)起(Qi)的(De)人(Ren)为(Wei)误(Wu)差(Cha)、(?)保(Bao)证(Zheng)加(Jia)工(Gong)质(Zhi)量(Liang)及(Ji)其(Qi)稳(Wen)定(Ding)性(Xing)的(De)意(Yi)要(Yao)举(Ju)措(Cuo)。(?)同(Tong)时(Shi),(?)它(Ta)又(You)是(Shi)快(Kuai)速(Su)响(Xiang)应(Ying)市(Shi)场(Chang)需(Xu)求(Qiu)、(?)缩(Suo)短(Duan)生(Sheng)产(Chan)剩(Sheng)造(Zao)周(Zhou)期(Qi)的(De)有(You)力(Li)措(Cuo)施(Shi)。(?)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)要(Yao)达(Da)到(Dao)高(Gao)质(Zhi)量(Liang),(?)必(Bi)须(Xu)依(Yi)靠(Kao)自(Zi)动(Dong)化(Hua)技(Ji)术(Shu)才(Cai)能(Neng)保(Bao)证(Zheng)。(?)如(Ru)工(Gong)艺(Yi)过(Guo)程(Cheng)***化(Hua)与(Yu)适(Shi)应(Ying)控(Kong)制(Zhi)、(?)检(Jian)测(Ce)与(Yu)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang),(?)计(Ji)算(Suan)机(Ji)控(Kong)制(Zhi)等(Deng)技(Ji)术(Shu)都(Du)是(Shi)提(Ti)高(Gao)和(He)保(Bao)证(Zheng)加(Jia)工(Gong)质(Zhi)量(Liang)的(De)自(Zi)动(Dong)化(Hua)技(Ji)术(Shu)。(?)虽(Sui)然(Ran)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)的(De)加(Jia)工(Gong)质(Zhi)量(Liang)在(Zai)当(Dang)前(Qian)仍(Reng)靠(Kao)工(Gong)人(Ren)的(De)技(Ji)艺(Yi)来(Lai)保(Bao)证(Zheng),(?)如(Ru)研(Yan)磨(Mo)、(?)刮(Gua)研(Yan)等(Deng)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa)仍(Reng)依(Yi)赖(Lai)于(Yu)手(Shou)工(Gong),(?)但(Dan)从(Cong)发(Fa)展(Zhan)的(De)趋(Qu)势(Shi)来(Lai)看(Kan),(?)自(Zi)动(Dong)化(Hua)技(Ji)术(Shu)代(Dai)替(Ti)手(Shou)工(Gong)的(De)比(Bi)例(Li)越(Yue)来(Lai)越(Yue)大(Da),(?)加(Jia)工(Gong)效(Xiao)果(Guo)也(Ye)越(Yue)来(Lai)***。(?)
(6)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)的(De)发(Fa)展(Zhan)与(Yu)产(Chan)品(Pin)需(Xu)求(Qiu)联(Lian)系(Xi)紧(Jin)密(Mi) (?)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)由(You)于(Yu)在(Zai)加(Jia)工(Gong)质(Zhi)量(Liang)上(Shang)要(Yao)求(Qiu)高(Gao),(?)技(Ji)术(Shu)上(Shang)难(Nan)度(Du)大(Da),(?)涉(She)及(Ji)面(Mian)广(Guang),(?)影(Ying)响(Xiang)因(Yin)素(Su)多(Duo),(?)因(Yin)此(Ci),(?)往(Wang)往(Wang)投(Tou)资(Zi)很(Hen)大(Da),(?)所(Suo)以(Yi)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)的(De)发(Fa)展(Zhan)与(Yu)具(Ju)体(Ti)的(De)产(Chan)品(Pin)需(Xu)求(Qiu)关(Guan)系(Xi)密(Mi)切(Qie)。(?)例(Li)如(Ru),(?)美(Mei)国(Guo)加(Jia)利(Li)福(Fu)尼(Ni)亚(Ya)大(Da)学(Xue) Lawrence livemsr实(Shi)验(Yan)室(Shi)和(He)y12工(Gong)厂(Chang)在(Zai)能(Neng)源(Yuan)部(Bu)支(Zhi)持(Chi)下(Xia),(?)于(Yu)1989年(Nian)联(Lian)合(He)研(Yan)制(Zhi)成(Cheng)功(Gong)的(De)DM-3型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)金(Jin)刚(Gang)石(Shi)车(Che)床(Chuang),(?)就(Jiu)是(Shi)针(Zhen)对(Dui)了(Liao)加(Jia)工(Gong)激(Ji)光(Guang)核(He)聚(Ju)变(Bian)用(Yong)的(De)各(Ge)种(Zhong)反(Fan)射(She)镜(Jing)、(?)大(Da)型(Xing)天(Tian)体(Ti)望(Wang)远(Yuan)镜(Jing)的(De)天(Tian)线(Xian)等(Deng),(?)反(Fan)映(Ying)了(Liao)航(Hang)天(Tian)技(Ji)术(Shu)的(De)需(Xu)求(Qiu)。(?)我(Wo)国(Guo)在(Zai)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)的(De)发(Fa)展(Zhan)上(Shang)也(Ye)是(Shi)结(Jie)合(He)了(Liao)航(Hang)天(Tian)、(?)航(Hang)空(Kong)技(Ji)术(Shu)上(Shang)的(De)具(Ju)体(Ti)需(Xu)求(Qiu)进(Jin)行(Xing)的(De)。(?)当(Dang)前(Qian),(?)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)、(?)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)的(De)规(Gui)格(Ge)化(Hua)、(?)系(Xi)列(Lie)化(Hua)远(Yuan)不(Bu)及(Ji)普(Pu)通(Tong)机(Ji)床(Chuang),(?)品(Pin)种(Zhong)也(Ye)不(Bu)够(Gou)多(Duo),(?)主(Zhu)要(Yao)是(Shi)由(You)于(Yu)在(Zai)技(Ji)术(Shu)上(Shang)推(Tui)广(Guang)不(Bu)够(Gou),(?)通(Tong)用(Yong)性(Xing)不(Bu)强(Qiang),(?)价(Jia)格(Ge)又(You)十(Shi)分(Fen)昂(Ang)贵(Gui),(?)随(Sui)著(Zhu)市(Shi)场(Chang)需(Xu)求(Qiu)的(De)扩(Kuo)大(Da)、(?)产(Chan)品(Pin)质(Zhi)量(Liang)的(De)提(Ti)高(Gao)和(He)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)的(De)不(Bu)断(Duan)成(Cheng)熟(Shu),(?)通(Tong)用(Yong)化(Hua)、(?)系(Xi)列(Lie)化(Hua)的(De)糖(Tang)密(Mi)加(Jia)工(Gong)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)设(She)备(Bei)一(Yi)定(Ding)会(Hui)更(Geng)为(Wei)广(Guang)泛(Fan)地(Di)应(Ying)用(Yong)于(Yu)生(Sheng)产(Chan)实(Shi)际(Ji)中(Zhong)。(?)