(?) (?)各(Ge)种(Zhong)介(Jie)质(Zhi)、(?)半(Ban)导(Dao)体(Ti)和(He)金(Jin)属(Shu)的(De)薄(Bao)膜(Mo),在(Zai)电(Dian)子(Zi)工(Gong)业(Ye)、(?)光(Guang)学(Xue)工(Gong)业(Ye)和(He)化(Hua)学(Xue)工(Gong)业(Ye)等(Deng)得(De)到(Dao)了(Liao)广(Guang)泛(Fan)的(De)应(Ying)用(Yong)。(?)膜(Mo)层(Ceng)的(De)厚(Hou)度(Du)对(Dui)器(Qi)件(Jian)或(Huo)仪(Yi)器(Qi)的(De)性(Xing)能(Neng)有(You)直(Zhi)接(Jie)影(Ying)响(Xiang)。(?)例(Li)如(Ru)用(Yong)于(Yu)硅(Gui)徽(Hui)型(Xing)电(Dian)路(Lu)的(De)介(Jie)质(Zhi)层(Ceng)的(De)厚(Hou)度(Du)和(He)成(Cheng)分(Fen),对(Dui)半(Ban)导(Dao)体(Ti)工(Gong)业(Ye)具(Ju)有(You)很(Hen)大(Da)的(De)重(Zhong)要(Yao)性(Xing),这(Zhe)些(Xie)膜(Mo)层(Ceng)的(De)厚(Hou)度(Du)将(Jiang)决(Jue)定(Ding)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)器(Qi)件(Jian)的(De)性(Xing)能(Neng)和(He)可(Ke)靠(Kao)性(Xing)。(?)
(?) (?)采(Cai)用(Yong)平(Ping)面(Mian)工(Gong)艺(Yi)制(Zhi)造(Zao)的(De)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu),通(Tong)常(Chang)在(Zai)硅(Gui)衬(Chen)底(Di)或(Huo)硅(Gui)片(Pian)上(Shang)有(You)一(Yi)层(Ceng)热(Re)生(Sheng)长(Chang)的(De)二(?)氧(Yang)化(Hua)硅(Gui)绝(Jue)缘(Yuan)层(Ceng)这(Zhe)薄(Bao)薄(Bao)的(De)二(?)氧(Yang)化(Hua)硅(Gui)介(Jie)质(Zhi)层(Ceng)使(Shi)得(De)硅(Gui)衬(Chen)底(Di)的(De)表(Biao)面(Mian)态(Tai)密(Mi)度(Du)降(Jiang)到(Dao)***小(Xiao),并(Bing)且(Qie)通(Tong)过(Guo)防(Fang)止(Zhi)PN结(Jie)吸(Xi)收(Shou)沾(Zhan)污(Wu)气(Qi)而(?)使(Shi)硅(Gui)表(Biao)面(Mian)稳(Wen)定(Ding)。(?)在(Zai)M0S器(Qi)件(Jian)中(Zhong),二(?)氧(Yang)化(Hua)硅(Gui)层(Ceng)的(De)厚(Hou)度(Du)决(Jue)定(Ding)着(Zhuo)器(Qi)件(Jian)的(De)开(Kai)启(Qi)电(Dian)压(Ya)。(?)在(Zai)硅(Gui)片(Pian)上(Shang)某(Mou)区(Qu)域(Yu)过(Guo)厚(Hou)的(De)硅(Gui)氧(Yang)化(Hua)层(Ceng),将(Jiang)会(Hui)引(Yin)起(Qi)该(Gai)区(Qu)域(Yu)开(Kai)启(Qi)电(Dian)压(Ya)的(De)增(Zeng)加(Jia),甚(Shen)至(Zhi)硅(Gui)片(Pian)上(Shang)二(?)氧(Yang)化(Hua)硅(Gui)层(Ceng)厚(Hou)度(Du)的(De)少(Shao)量(Liang)变(Bian)化(Hua)也(Ye)会(Hui)导(Dao)致(Zhi)元(Yuan)件(Jian)失(Shi)配(Pei),从(Cong)而(?)降(Jiang)低(Di)器(Qi)件(Jian)的(De)灵(Ling)繁(Fan)度(Du)。(?)因(Yin)此(Ci)对(Dui)各(Ge)种(Zhong)膜(Mo)厚(Hou)的(De)测(Ce)量(Liang)及(Ji)生(Sheng)产(Chan)过(Guo)程(Cheng)在(Zai)线(Xian)检(Jian)测(Ce)与(Yu)控(Kong)制(Zhi),提(Ti)供(Gong)灵(Ling)敏(Min)度(Du)和(He)准(Zhun)确(Que)度(Du)高(Gao)的(De)检(Jian)测(Ce)手(Shou)段(Duan)尤(You)为(Wei)重(Zhong)要(Yao)。(?)膜(Mo)厚(Hou)的(De)范(Fan)围(Wei)已(Yi)从(Cong)微(Wei)米(Mi)级(Ji)进(Jin)入(Ru)纳(Na)米(Mi)级(Ji)。(?)例(Li)如(Ru)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)中(Zhong)各(Ge)种(Zhong)纯(Chun)化(Hua)膜(Mo)已(Yi)由(You)100mm级(Ji)进(Jin)人(Ren)10m级(Ji)以(Yi)下(Xia),物(Wu)质(Zhi)结(Jie)构(Gou)研(Yan)究(Jiu)中(Zhong)早(Zao)已(Yi)接(Jie)近(Jin)01m级(Ji)。(?)对(Dui)于(Yu)从(Cong)微(Wei)米(Mi)到(Dao)毫(Hao)微(Wei)米(Mi)各(Ge)种(Zhong)膜(Mo)厚(Hou)的(De)测(Ce)量(Liang)方(Fang)法(Fa)很(Hen)多(Duo),其(Qi)分(Fen)类(Lei)主(Zhu)要(Yao)有(You)
(?) (?)1)机(Ji)槭(Qi)法(Fa)称(Cheng)量(Liang)法(Fa)、(?)机(Ji)被(Bei)探(Tan)针(Zhen)法(Fa)、(?)光(Guang)学(Xue)机(Ji)被(Bei)法(Fa)及(Ji)磨(Mo)角(Jiao)染(Ran)色(Se)测(Ce)微(Wei)法(Fa)等(Deng)
(?) (?)2)电(Dian)学(Xue)法(Fa)磨(Mo)角(Jiao)电(Dian)探(Tan)针(Zhen)法(Fa)、(?)电(Dian)阻(Zu)法(Fa)、(?)电(Dian)容(Rong)电(Dian)感(Gan)法(Fa)、(?)晶(Jing)体(Ti)振(Zhen)荡(Dang)法(Fa)及(Ji)电(Dian)子(Zi)射(She)线(Xian)法(Fa)等(Deng)。(?)
(?) (?)3)光(Guang)电(Dian)法(Fa)光(Guang)电(Dian)极(Ji)值(Zhi)法(Fa)(变(Bian)厚(Hou)、(?)变(Bian)角(Jiao)、(?)变(Bian)波(Bo)长(Chang))、(?)干(Gan)涉(She)法(Fa)、(?)偏(Pian)光(Guang)法(Fa)、(?)全(Quan)息(Xi)法(Fa)、(?)X光(Guang)法(Fa)、(?)以(Yi)及(Ji)扫(Sao)描(Miao)电(Dian)子(Zi)显(Xian)微(Wei)镜(Jing)、(?)俄(E)歇(Xie)电(Dian)子(Zi)谱(Pu)仪(Yi)等(Deng)。(?)
(?) (?)以(Yi)上(Shang)诸(Zhu)方(Fang)法(Fa)中(Zhong),以(Yi)光(Guang)电(Dian)法(Fa)应(Ying)用(Yong)***为(Wei)普(Pu)遍(Bian),其(Qi)中(Zhong)不(Bu)少(Shao)方(Fang)法(Fa)可(Ke)以(Yi)达(Da)到(Dao)纳(Na)米(Mi)级(Ji)的(De)糟(Zao)度(Du)。(?)
(?) (?)称(Cheng)量(Liang)法(Fa)可(Ke)检(Jian)测(Ce)各(Ge)种(Zhong)膜(Mo)厚(Hou),对(Dui)测(Ce)量(Liang)大(Da)面(Mian)积(Ji)薄(Bao)膜(Mo)有(You)较(Jiao)高(Gao)的(De)精(Jing)度(Du)和(He)较(Jiao)大(Da)的(De)范(Fan)围(Wei),并(Bing)可(Ke)边(Bian)镀(Du)边(Bian)测(Ce)实(Shi)现(Xian)自(Zi)动(Dong)监(Jian)控(Kong),故(Gu)至(Zhi)今(Jin)仍(Reng)被(Bei)用(Yong)于(Yu)真(Zhen)空(Kong)镀(Du)膜(Mo)工(Gong)艺(Yi)中(Zhong)。(?)机(Ji)械(Xie)探(Tan)针(Zhen)法(Fa)可(Ke)配(Pei)合(He)杠(Gang)杆(Gan)放(Fang)大(Da)器(Qi)和(He)电(Dian)子(Zi)放(Fang)大(Da)器(Qi)进(Jin)行(Xing)测(Ce)量(Liang),这(Zhe)种(Zhong)方(Fang)法(Fa)具(Ju)有(You)亚(Ya)微(Wei)米(Mi)级(Ji)精(Jing)度(Du)和(He)较(Jiao)大(Da)测(Ce)量(Liang)的(De)范(Fan)围(Wei),但(Dan)需(Xu)将(Jiang)膜(Mo)层(Ceng)开(Kai)槽(Cao)才(Cai)能(Neng)进(Jin)行(Xing)探(Tan)测(Ce)。(?)用(Yong)光(Guang)学(Xue)比(Bi)较(Jiao)仪(Yi)(参(Can)见(Jian)本(Ben)书(Shu)第(Di)9章(Zhang)第(Di)2节(Jie))与(Yu)无(Wu)镀(Du)层(Ceng)基(Ji)片(Pian)进(Jin)行(Xing)比(Bi)较(Jiao)直(Zhi)接(Jie)读(Du)出(Chu)膜(Mo)厚(Hou),由(You)于(Yu)采(Cai)用(Yong)光(Guang)学(Xue)杠(Gang)杆(Gan)放(Fang)大(Da)机(Ji)构(Gou),可(Ke)测(Ce)出(Chu)0.m的(De)膜(Mo)厚(Hou)。(?)线(Xian)电(Dian)阻(Zu)法(Fa)可(Ke)镀(Du)细(Xi)长(Chang)参(Can)考(Kao)片(Pian),参(Can)考(Kao)片(Pian)的(De)长(Chang)度(Du)、(?)宽(Kuan)度(Du)固(Gu)定(Ding),并(Bing)以(Yi)其(Qi)他(Ta)方(Fang)法(Fa)预(Yu)测(Ce)出(Chu)键(Jian)片(Pian)膜(Mo)厚(Hou)与(Yu)电(Dian)阻(Zu)的(De)反(Fan)比(Bi)关(Guan)系(Xi),即(Ji)可(Ke)由(You)电(Dian)阻(Zu)直(Zhi)接(Jie)给(Gei)出(Chu)厚(Hou)度(Du),故(Gu)可(Ke)边(Bian)镀(Du)边(Bian)测(Ce),有(You)较(Jiao)高(Gao)精(Jing)度(Du)。(?)电(Dian)探(Tan)针(Zhen)法(Fa)可(Ke)测(Ce)出(Chu)面(Mian)电(Dian)阻(Zu)换(Huan)算(Suan)出(Chu)膜(Mo)厚(Hou)。(?)磨(Mo)角(Jiao)电(Dian)探(Tan)针(Zhen)法(Fa)与(Yu)磨(Mo)角(Jiao)染(Ran)色(Se)法(Fa)都(Du)是(Shi)靠(Kao)磨(Mo)出(Chu)小(Xiao)角(Jiao)度(Du)进(Jin)行(Xing)测(Ce)量(Liang)。(?)染(Ran)色(Se)或(Huo)电(Dian)探(Tan)针(Zhen)则(Ze)是(Shi)为(Wei)了(Liao)指(Zhi)示(Shi)膜(Mo)层(Ceng)与(Yu)基(Ji)片(Pian)的(De)分(Fen)界(Jie)线(Xian)。(?)对(Dui)于(Yu)测(Ce)量(Liang)PN结(Jie)的(De)宽(Kuan)度(Du)很(Hen)有(You)使(Shi)用(Yong)价(Jia)值(Zhi),但(Dan)精(Jing)度(Du)不(Bu)高(Gao)。(?)电(Dian)容(Rong)法(Fa)是(Shi)用(Yong)来(Lai)测(Ce)价(Jia)质(Zhi)膜(Mo),电(Dian)感(Gan)法(Fa)可(Ke)测(Ce)金(Jin)属(Shu)镀(Du)层(Ceng)。(?)
(?) (?)光(Guang)电(Dian)极(Ji)值(Zhi)法(Fa)是(Shi)目(Mu)前(Qian)工(Gong)业(Ye)中(Zhong)常(Chang)用(Yong)的(De)方(Fang)法(Fa)之(Zhi)一(Yi),半(Ban)导(Dao)体(Ti)工(Gong)业(Ye)中(Zhong)可(Ke)用(Yong)来(Lai)测(Ce)氧(Yang)化(Hua)膜(Mo)、(?)氮(Dan)化(Hua)硅(Gui)膜(Mo)、(?)铁(Tie)版(Ban)膜(Mo)、(?)乳(Ru)胶(Jiao)膜(Mo)等(Deng)膜(Mo)层(Ceng)厚(Hou)度(Du)。(?)
