(?) (?)近(Jin)年(Nian)来(Lai),世(Shi)界(Jie)各(Ge)发(Fa)达(Da)**都(Du)非(Fei)常(Chang)重(Zhong)视(Shi)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)的(De)发(Fa)展(Zhan),由(You)于(Yu)得(De)到(Dao)**的(De)支(Zhi)持(Chi),综(Zong)合(He)运(Yun)用(Yong)多(Duo)项(Xiang)现(Xian)代(Dai)新(Xin)技(Ji)术(Shu),使(Shi)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)发(Fa)展(Zhan)迅(Xun)速(Su),目(Mu)前(Qian)正(Zheng)向(Xiang)纳(Na)米(Mi)级(Ji)发(Fa)展(Zhan)。(?)现(Xian)在(Zai)通(Tong)用(Yong)的(De)中(Zhong)小(Xiao)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)已(Yi)逐(Zhu)渐(Jian)成(Cheng)熟(Shu)稳(Wen)定(Ding),很(Hen)多(Duo)**都(Du)已(Yi)有(You)质(Zhi)量(Liang)很(Hen)高(Gao)的(De)标(Biao)准(Zhun)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)产(Chan)品(Pin)。(?)当(Dang)前(Qian)国(Guo)际(Ji)上(Shang)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)的(De)主(Zhu)要(Yao)发(Fa)展(Zhan)趋(Qu)势(Shi)是(Shi):
(?) (?)(1)向(Xiang)更(Geng)高(Gao)精(Jing)度(Du)、(?)大(Da)型(Xing)化(Hua)、(?)高(Gao)效(Xiao)多(Duo)功(Gong)能(Neng)和(He)自(Zi)动(Dong)化(Hua)的(De)方(Fang)向(Xiang)发(Fa)展(Zhan)
(?) (?)1)由(You)于(Yu)尖(Jian)端(Duan)技(Ji)术(Shu)的(De)发(Fa)展(Zhan),要(Yao)求(Qiu)加(Jia)工(Gong)出(Chu)更(Geng)高(Gao)精(Jing)度(Du)的(De)大(Da)型(Xing)光(Guang)学(Xue)元(Yuan)件(Jian),因(Yin)此(Ci)迫(Po)切(Qie)需(Xu)要(Yao)发(Fa)展(Zhan)更(Geng)高(Gao)精(Jing)度(Du)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)。(?)目(Mu)前(Qian),美(Mei)国(Guo)和(He)日(Ri)本(Ben)提(Ti)出(Chu)向(Xiang)纳(Na)米(Mi)级(Ji)精(Jing)度(Du)挑(Tiao)战(Zhan),并(Bing)加(Jia)紧(Jin)研(Yan)制(Zhi)纳(Na)米(Mi)级(Ji)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang),主(Zhu)要(Yao)目(Mu)标(Biao)为(Wei):主(Zhu)轴(Zhou)精(Jing)度(Du)20nm,定(Ding)位(Wei)精(Jing)度(Du)50nm,位(Wei)置(Zhi)检(Jian)测(Ce)糟(Zao)度(Du)10nm;环(Huan)境(Jing)温(Wen)度(Du)20±0005℃(?);以(Yi)及(Ji)与(Yu)之(Zhi)相(Xiang)应(Ying)的(De)纳(Na)米(Mi)级(Ji)关(Guan)键(Jian)基(Ji)础(Chu)件(Jian):如(Ru)主(Zhu)轴(Zhou)轴(Zhou)系(Xi)、(?)主(Zhu)轴(Zhou)单(Dan)元(Yuan)、(?)导(Dao)轨(Gui)副(Fu)、(?)直(Zhi)线(Xian)运(Yun)动(Dong)单(Dan)元(Yuan)、(?)位(Wei)移(Yi)装(Zhuang)置(Zhi)、(?)数(Shu)控(Kong)何(He)服(Fu)系(Xi)统(Tong)等(Deng)。(?)
(?) (?)2)在(Zai)大(Da)型(Xing)激(Ji)光(Guang)武(Wu)器(Qi)、(?)激(Ji)光(Guang)核(He)聚(Ju)变(Bian)用(Yong)大(Da)型(Xing)激(Ji)光(Guang)器(Qi)、(?)同(Tong)步(Bu)加(Jia)速(Su)器(Qi)用(Yong)大(Da)型(Xing)光(Guang)学(Xue)元(Yuan)件(Jian)和(He)大(Da)型(Xing)遥(Yao)测(Ce)光(Guang)学(Xue)器(Qi)件(Jian)研(Yan)究(Jiu)开(Kai)发(Fa)中(Zhong),有(You)许(Xu)多(Duo)大(Da)型(Xing)光(Guang)学(Xue)元(Yuan)件(Jian),其(Qi)形(Xing)状(Zhuang)精(Jing)度(Du)要(Yao)求(Qiu)达(Da)到(Dao)纳(Na)米(Mi)级(Ji);X射(She)线(Xian)反(Fan)射(She)镜(Jing)的(De)表(Biao)面(Mian)粗(Cu)糙(Cao)度(Du)要(Yao)求(Qiu)达(Da)到(Dao)零(Ling)点(Dian)几(Ji)纳(Na)米(Mi)。(?)为(Wei)加(Jia)工(Gong)这(Zhe)些(Xie)大(Da)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)工(Gong)件(Jian),必(Bi)须(Xu)发(Fa)展(Zhan)大(Da)型(Xing)多(Duo)功(Gong)能(Neng)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)。(?)现(Xian)在(Zai)美(Mei)国(Guo)和(He)英(Ying)国(Guo)处(Chu)于(Yu)领(Ling)先(Xian)地(Di)位(Wei),且(Qie)仍(Reng)在(Zai)继(Ji)续(Xu)发(Fa)展(Zhan)提(Ti)高(Gao)。(?)日(Ri)本(Ben)过(Guo)去(Qu)在(Zai)此(Ci)领(Ling)域(Yu)进(Jin)行(Xing)的(De)工(Gong)作(Zuo)不(Bu)多(Duo),现(Xian)在(Zai)提(Ti)出(Chu)要(Yao)加(Jia)速(Su)发(Fa)展(Zhan)。(?)美(Mei)国(Guo)研(Yan)制(Zhi)的(De)大(Da)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)已(Yi)能(Neng)加(Jia)工(Gong)出(Chu)直(Zhi)径(Jing)2.4~4m的(De)大(Da)型(Xing)光(Guang)学(Xue)器(Qi)。(?)
(?) (?)3)随(Sui)着(Zhuo)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)在(Zai)民(Min)用(Yong)工(Gong)业(Ye)中(Zhong)的(De)应(Ying)用(Yong),要(Yao)求(Qiu)发(Fa)展(Zhan)更(Geng)高(Gao)效(Xiao)专(Zhuan)用(Yong)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)。(?)一(Yi)般(Ban)通(Tong)过(Guo)提(Ti)高(Gao)机(Ji)床(Chuang)转(Zhuan)速(Su)和(He)刀(Dao)具(Ju)进(Jin)给(Gei)速(Su)度(Du)来(Lai)缩(Suo)短(Duan)切(Qie)削(Xiao)时(Shi)间(Jian)。(?)此(Ci)外(Wai),缩(Suo)短(Duan)主(Zhu)轴(Zhou)的(De)起(Qi)停(Ting)时(Shi)间(Jian),由(You)于(Yu)主(Zhu)轴(Zhou)必(Bi)须(Xu)在(Zai)少(Shao)钟(Zhong)内(Nei)高(Gao)速(Su)运(Yun)转(Zhuan),又(You)要(Yao)在(Zai)几(Ji)秒(Miao)钟(Zhong)内(Nei)停(Ting)止(Zhi),因(Yin)而(?)机(Ji)床(Chuang)趋(Qu)向(Xiang)于(Yu)采(Cai)用(Yong)电(Dian)动(Dong)机(Ji)直(Zhi)接(Jie)带(Dai)动(Dong)主(Zhu)轴(Zhou)运(Yun)转(Zhuan)的(De)方(Fang)式(Shi)。(?)日(Ri)本(Ben)在(Zai)此(Ci)领(Ling)域(Yu)内(Nei)处(Chu)于(Yu)领(Ling)先(Xian)地(Di)位(Wei),已(Yi)生(Sheng)产(Chan)高(Gao)效(Xiao)自(Zi)动(Dong)化(Hua)程(Cheng)度(Du)很(Hen)高(Gao)的(De)专(Zhuan)用(Yong)磁(Ci)盘(Pan)车(Che)床(Chuang),加(Jia)工(Gong)激(Ji)光(Guang)打(Da)印(Yin)机(Ji)多(Duo)面(Mian)棱(Leng)镜(Jing)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)锐(Rui)床(Chuang),加(Jia)工(Gong)录(Lu)像(Xiang)机(Ji)磁(Ci)鼓(Gu)的(De)高(Gao)效(Xiao)专(Zhuan)用(Yong)车(Che)床(Chuang)等(Deng)。(?)研(Yan)究(Jiu)和(He)开(Kai)发(Fa)高(Gao)效(Xiao)专(Zhuan)用(Yong)机(Ji)床(Chuang)是(Shi)中(Zhong)小(Xiao)型(Xing)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)发(Fa)展(Zhan)和(He)竞(Jing)争(Zheng)的(De)热(Re)点(Dian)。(?)
(?) (?)4)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)从(Cong)加(Jia)工(Gong)性(Xing)质(Zhi)上(Shang)来(Lai)说(Shuo)***适(Shi)宜(Yi)采(Cai)用(Yong)自(Zi)动(Dong)化(Hua)、(?)无(Wu)人(Ren)化(Hua)加(Jia)工(Gong)方(Fang)式(Shi)。(?)这(Zhe)样(Yang)可(Ke)以(Yi)***大(Da)限(Xian)度(Du)减(Jian)少(Shao)外(Wai)界(Jie)干(Gan)扰(Rao),保(Bao)证(Zheng)加(Jia)工(Gong)质(Zhi)量(Liang)。(?)目(Mu)前(Qian)研(Yan)制(Zhi)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)车(Che)床(Chuang)都(Du)已(Yi)实(Shi)现(Xian)数(Shu)控(Kong)化(Hua),有(You)些(Xie)可(Ke)以(Yi)配(Pei)自(Zi)动(Dong)上(Shang)料(Liao)装(Zhuang)置(Zhi),并(Bing)可(Ke)以(Yi)纳(Na)到(Dao)超(Chao)密(Mi)加(Jia)工(Gong)的(De)FMs(柔(Rou)性(Xing)制(Zhi)造(Zao)系(Xi)统(Tong))中(Zhong)去(Qu)。(?)无(Wu)人(Ren)化(Hua)加(Jia)工(Gong)是(Shi)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)发(Fa)展(Zhan)的(De)一(Yi)个(Ge)重(Zhong)要(Yao)趋(Qu)势(Shi)。(?)
(?) (?)(2)发(Fa)展(Zhan)模(Mo)块(Kuai)化(Hua)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)当(Dang)今(Jin)世(Shi)界(Jie)上(Shang)的(De)市(Shi)场(Chang)竞(Jing)争(Zheng)和(He)科(Ke)技(Ji)进(Jin)步(Bu),使(Shi)工(Gong)业(Ye)产(Chan)品(Pin)的(De)市(Shi)场(Chang)寿(Shou)命(Ming)周(Zhou)期(Qi)越(Yue)来(Lai)越(Yue)短(Duan)。(?)对(Dui)多(Duo)变(Bian)市(Shi)场(Chang)的(De)适(Shi)应(Ying)性(Xing),已(Yi)成(Cheng)为(Wei)当(Dang)今(Jin)生(Sheng)产(Chan)技(Ji)术(Shu)发(Fa)展(Zhan)和(He)改(Gai)造(Zao)的(De)战(Zhan)略(Lue)目(Mu)标(Biao)。(?)模(Mo)块(Kuai)化(Hua)技(Ji)术(Shu)方(Fang)法(Fa)使(Shi)这(Zhe)种(Zhong)适(Shi)应(Ying)性(Xing)得(De)以(Yi)实(Shi)现(Xian)和(He)发(Fa)展(Zhan)。(?)即(Ji)当(Dang)加(Jia)工(Gong)对(Dui)象(Xiang)改(Gai)变(Bian)时(Shi),机(Ji)床(Chuang)结(Jie)构(Gou)应(Ying)能(Neng)就(Jiu)地(Di)(使(Shi)用(Yong)现(Xian)场(Chang))根(Gen)据(Ju)需(Xu)要(Yao)很(Hen)容(Rong)易(Yi)地(Di)进(Jin)行(Xing)结(Jie)合(He)和(He)分(Fen)离(Li),以(Yi)组(Zu)成(Cheng)新(Xin)的(De)机(Ji)床(Chuang)。(?)如(Ru)采(Cai)用(Yong)空(Kong)气(Qi)轴(Zhou)承(Cheng)组(Zu)件(Jian)、(?)气(Qi)浮(Fu)导(Dao)轨(Gui)组(Zu)件(Jian)、(?)进(Jin)给(Gei)装(Zhuang)置(Zhi)、(?)花(Hua)岗(Gang)岩(Yan)底(Di)座(Zuo)和(He)隔(Ge)振(Zhen)气(Qi)垫(Dian)等(Deng)八(Ba)种(Zhong)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)元(Yuan)部(Bu)件(Jian)作(Zuo)为(Wei)模(Mo)块(Kuai),组(Zu)成(Cheng)可(Ke)以(Yi)加(Jia)工(Gong)磁(Ci)盘(Pan)、(?)活(Huo)塞(Sai)、(?)转(Zhuan)子(Zi)、(?)振(Zhen)动(Dong)筒(Tong)、(?)红(Hong)外(Wai)抛(Pao)物(Wu)面(Mian)反(Fan)射(She)镜(Jing)、(?)多(Duo)面(Mian)棱(Leng)体(Ti)、(?)高(Gao)精(Jing)度(Du)轴(Zhou)承(Cheng)、(?)蓝(Lan)宝(Bao)石(Shi)切(Qie)割(Ge)、(?)研(Yan)磨(Mo)等(Deng)十(Shi)种(Zhong)功(Gong)能(Neng)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)。(?)美(Mei)国(Guo)的(De) ANORAD公(Gong)司(Si)生(Sheng)产(Chan)各(Ge)种(Zhong)转(Zhuan)定(Ding)位(Wei)工(Gong)作(Zuo)台(Tai)、(?)在(Zai)线(Xian)运(Yun)动(Dong)工(Gong)作(Zuo)台(Tai)、(?)空(Kong)气(Qi)轴(Zhou)承(Cheng)线(Xian)性(Xing)定(Ding)位(Wei)工(Gong)作(Zuo)台(Tai)等(Deng),可(Ke)以(Yi)满(Man)足(Zu)不(Bu)同(Tong)用(Yong)户(Hu)模(Mo)块(Kuai)方(Fang)式(Shi)组(Zu)成(Cheng)各(Ge)种(Zhong)一(Yi)维(Wei)、(?)二(?)维(Wei)和(He)多(Duo)维(Wei)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)运(Yun)动(Dong)控(Kong)制(Zhi)平(Ping)台(Tai)。(?)由(You)于(Yu)有(You)了(Liao)模(Mo)块(Kuai)化(Hua)和(He)结(Jie)构(Gou)化(Hua)技(Ji)术(Shu),研(Yan)制(Zhi)新(Xin)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)设(She)备(Bei)的(De)费(Fei)用(Yong)和(He)周(Zhou)期(Qi)都(Du)大(Da)大(Da)下(Xia)降(Jiang)技(Ji)术(Shu)的(De)难(Nan)度(Du)也(Ye)下(Xia)降(Jiang)。(?)据(Ju)分(Fen)析(Xi),制(Zhi)造(Zao)成(Cheng)本(Ben)可(Ke)降(Jiang)至(Zhi)1/3-1/2,制(Zhi)造(Zao)周(Zhou)期(Qi)可(Ke)缩(Suo)短(Duan)1/3~12,使(Shi)机(Ji)床(Chuang)随(Sui)市(Shi)场(Chang)的(De)变(Bian)化(Hua)具(Ju)有(You)快(Kuai)速(Su)性(Xing)采(Cai)用(Yong)模(Mo)块(Kuai)式(Shi)结(Jie)构(Gou)可(Ke)使(Shi)机(Ji)床(Chuang)具(Ju)有(You)更(Geng)大(Da)的(De)柔(Rou)性(Xing)和(He)更(Geng)高(Gao)的(De)利(Li)用(Yong)率(Lu),也(Ye)是(Shi)降(Jiang)低(Di)成(Cheng)本(Ben)、(?)缩(Suo)短(Duan)制(Zhi)造(Zao)周(Zhou)期(Qi)的(De)有(You)效(Xiao)方(Fang)法(Fa)。(?)因(Yin)此(Ci)发(Fa)展(Zhan)模(Mo)块(Kuai)化(Hua)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)是(Shi)推(Tui)广(Guang)应(Ying)用(Yong)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)的(De)一(Yi)个(Ge)有(You)效(Xiao)手(Shou)段(Duan),用(Yong)户(Hu)可(Ke)以(Yi)根(Gen)据(Ju)需(Xu)要(Yao)提(Ti)出(Chu)要(Yao)求(Qiu),以(Yi)较(Jiao)低(Di)的(De)价(Jia)格(Ge)获(Huo)得(De)所(Suo)需(Xu)要(Yao)的(De)机(Ji)床(Chuang)。(?)
(?) (?)模(Mo)块(Kuai)化(Hua)设(She)计(Ji)方(Fang)法(Fa)应(Ying)探(Tan)讨(Tao)如(Ru)下(Xia)问(Wen)题(Ti):
(?) (?)1)模(Mo)块(Kuai)化(Hua)分(Fen)类(Lei)法(Fa)、(?)编(Bian)码(Ma)系(Xi)统(Tong)与(Yu)标(Biao)准(Zhun)化(Hua)的(De)研(Yan)究(Jiu)。(?)
(?) (?)2)标(Biao)准(Zhun)基(Ji)本(Ben)元(Yuan)件(Jian)的(De)定(Ding)义(Yi)与(Yu)分(Fen)类(Lei)。(?)
(?) (?)3)概(Gai)念(Nian)设(She)计(Ji)与(Yu)模(Mo)块(Kuai)化(Hua)分(Fen)解(Jie)和(He)联(Lian)接(Jie)的(De)原(Yuan)则(Ze)与(Yu)方(Fang)法(Fa)。(?)
(?) (?)4)设(She)计(Ji)知(Zhi)识(Shi)库(Ku)支(Zhi)持(Chi)系(Xi)统(Tong)和(He)精(Jing)度(Du)分(Fen)析(Xi)决(Jue)策(Ce)系(Xi)统(Tong)。(?)
(?) (?)5)单(Dan)元(Yuan)模(Mo)块(Kuai)设(She)计(Ji)技(Ji)术(Shu)等(Deng)。(?)
(?) (?)(3)采(Cai)用(Yong)计(Ji)算(Suan)机(Ji)补(Bu)偿(Chang)技(Ji)术(Shu)提(Ti)高(Gao)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)提(Ti)高(Gao)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)的(De)途(Tu)径(Jing)可(Ke)分(Fen)为(Wei)两(Liang)大(Da)类(Lei),一(Yi)类(Lei)称(Cheng)为(Wei)避(Bi)免(Mian)误(Wu)差(Cha)技(Ji)术(Shu),另(Ling)一(Yi)类(Lei)为(Wei)补(Bu)偿(Chang)误(Wu)差(Cha)技(Ji)术(Shu)。(?)避(Bi)兔(Tu)误(Wu)差(Cha)技(Ji)术(Shu)是(Shi)靠(Kao)提(Ti)高(Gao)机(Ji)床(Chuang)本(Ben)身(Shen)精(Jing)度(Du)来(Lai)减(Jian)小(Xiao)加(Jia)工(Gong)误(Wu)差(Cha)。(?)补(Bu)偿(Chang)误(Wu)差(Cha)技(Ji)术(Shu)劐(Huo)是(Shi)应(Ying)用(Yong)监(Jian)测(Ce)装(Zhuang)置(Zhi)来(Lai)实(Shi)现(Xian)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)。(?)但(Dan)随(Sui)着(Zhuo)机(Ji)床(Chuang)本(Ben)身(Shen)精(Jing)度(Du)的(De)不(Bu)断(Duan)提(Ti)高(Gao),单(Dan)靠(Kao)提(Ti)高(Gao)基(Ji)准(Zhun)元(Yuan)件(Jian)的(De)精(Jing)度(Du)来(Lai)提(Ti)高(Gao)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)的(De)精(Jing)度(Du)是(Shi)有(You)限(Xian)的(De),而(?)且(Qie)其(Qi)成(Cheng)本(Ben)费(Fei)用(Yong)剧(Ju)增(Zeng)。(?)受(Shou)经(Jing)济(Ji)条(Tiao)件(Jian)和(He)精(Jing)度(Du)的(De)限(Xian)制(Zhi),补(Bu)偿(Chang)误(Wu)差(Cha)技(Ji)术(Shu)得(De)到(Dao)更(Geng)为(Wei)广(Guang)泛(Fan)的(De)应(Ying)用(Yong)。(?)近(Jin)年(Nian)来(Lai),国(Guo)外(Wai)在(Zai)机(Ji)床(Chuang)上(Shang)广(Guang)泛(Fan)采(Cai)用(Yong)计(Ji)算(Suan)机(Ji)进(Jin)行(Xing)先(Xian)发(Fa)性(Xing)的(De)前(Qian)愤(Fen)控(Kong)制(Zhi),以(Yi)实(Shi)现(Xian)超(Chao)糟(Zao)密(Mi)加(Jia)工(Gong)。(?)这(Zhe)种(Zhong)方(Fang)法(Fa)是(Shi)利(Li)用(Yong)计(Ji)算(Suan)机(Ji)预(Yu)先(Xian)测(Ce)定(Ding)引(Yin)起(Qi)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)下(Xia)降(Jiang)的(De)参(Can)数(Shu),并(Bing)通(Tong)过(Guo)计(Ji)算(Suan)机(Ji)进(Jin)行(Xing)处(Chu)理(Li),预(Yu)测(Ce)出(Chu)加(Jia)工(Gong)误(Wu)差(Cha),并(Bing)及(Ji)时(Shi)进(Jin)行(Xing)补(Bu)偿(Chang),从(Cong)而(?)可(Ke)以(Yi)得(De)到(Dao)高(Gao)于(Yu)机(Ji)床(Chuang)本(Ben)身(Shen)结(Jie)构(Gou)所(Suo)能(Neng)达(Da)到(Dao)的(De)加(Jia)工(Gong)糟(Zao)度(Du)。(?)利(Li)用(Yong)计(Ji)算(Suan)机(Ji)进(Jin)行(Xing)综(Zong)合(He)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)是(Shi)提(Ti)高(Gao)加(Jia)工(Gong)和(He)测(Ce)量(Liang)精(Jing)度(Du)的(De)一(Yi)种(Zhong)经(Jing)济(Ji)有(You)效(Xiao)的(De)方(Fang)法(Fa),对(Dui)开(Kai)发(Fa)纳(Na)米(Mi)级(Ji)加(Jia)工(Gong)精(Jing)度(Du)的(De)机(Ji)床(Chuang)具(Ju)有(You)重(Zhong)要(Yao)意(Yi)义(Yi)。(?)这(Zhe)一(Yi)趋(Qu)势(Shi)已(Yi)日(Ri)益(Yi)引(Yin)起(Qi)重(Zhong)视(Shi)。(?)误(Wu)差(Cha)补(Bu)偿(Chang)技(Ji)术(Shu)的(De)发(Fa)展(Zhan)关(Guan)键(Jian)在(Zai)于(Yu)开(Kai)发(Fa)和(He)应(Ying)用(Yong)灵(Ling)敏(Min)、(?)精(Jing)确(Que)和(He)稳(Wen)定(Ding)可(Ke)靠(Kao)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)和(He)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)、(?)位(Wei)移(Yi)精(Jing)度(Du)及(Ji)重(Zhong)复(Fu)精(Jing)度(Du)很(Hen)高(Gao)的(De)执(Zhi)行(Xing)机(Ji)构(Gou)。(?)
(?) (?)(4)采(Cai)用(Yong)适(Shi)应(Ying)控(Kong)制(Zhi)技(Ji)术(Shu)提(Ti)高(Gao)生(Sheng)产(Chan)率(Lu)随(Sui)着(Zhuo)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)质(Zhi)量(Liang)稳(Wen)定(Ding)和(He)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)零(Ling)件(Jian)数(Shu)量(Liang)急(Ji)剧(Ju)增(Zeng)长(Chang)的(De)要(Yao)求(Qiu),国(Guo)外(Wai)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)正(Zheng)向(Xiang)高(Gao)效(Xiao)率(Lu)方(Fang)向(Xiang)发(Fa)展(Zhan)。(?)采(Cai)用(Yong)适(Shi)应(Ying)控(Kong)制(Zhi)技(Ji)术(Shu)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji),可(Ke)以(Yi)清(Qing)除(Chu)加(Jia)工(Gong)中(Zhong)和(He)加(Jia)工(Gong)环(Huan)境(Jing)中(Zhong)人(Ren)为(Wei)因(Yin)素(Su)的(De)影(Ying)响(Xiang),这(Zhe)是(Shi)实(Shi)现(Xian)高(Gao)精(Jing)度(Du)和(He)高(Gao)效(Xiao)率(Lu)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)的(De)主(Zhu)要(Yao)手(Shou)段(Duan)。(?)但(Dan)由(You)于(Yu)适(Shi)应(Ying)控(Kong)制(Zhi)技(Ji)术(Shu)成(Cheng)本(Ben)偏(Pian)高(Gao),目(Mu)前(Qian)主(Zhu)要(Yao)用(Yong)于(Yu)大(Da)型(Xing)和(He)昂(Ang)贲(Ben)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)。(?)
(?) (?)(5)加(Jia)工(Gong)、(?)测(Ce)量(Liang)一(Yi)体(Ti)化(Hua)在(Zai)超(Chao)精(Jing)密(Mi)加(Jia)工(Gong)中(Zhong),精(Jing)密(Mi)测(Ce)量(Liang)也(Ye)是(Shi)关(Guan)键(Jian)。(?)测(Ce)量(Liang)仪(Yi)器(Qi)的(De)精(Jing)度(Du)一(Yi)般(Ban)都(Du)要(Yao)求(Qiu)比(Bi)被(Bei)测(Ce)零(Ling)件(Jian)精(Jing)度(Du)高(Gao)一(Yi)个(Ge)数(Shu)量(Liang)级(Ji)。(?)过(Guo)去(Qu)加(Jia)工(Gong)和(He)测(Ce)量(Liang)通(Tong)常(Chang)是(Shi)独(Du)立(Li)进(Jin)行(Xing)的(De)。(?)但(Dan)随(Sui)着(Zhuo)机(Ji)被(Bei)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)水(Shui)平(Ping)的(De)提(Ti)高(Gao),机(Ji)床(Chuang)本(Ben)身(Shen)的(De)精(Jing)度(Du)也(Ye)大(Da)大(Da)提(Ti)高(Gao)。(?)在(Zai)这(Zhe)种(Zhong)条(Tiao)件(Jian)下(Xia),配(Pei)有(You)适(Shi)当(Dang)的(De)仪(Yi)器(Qi)或(Huo)采(Cai)取(Qu)一(Yi)定(Ding)的(De)措(Cuo)施(Shi)后(Hou)(如(Ru)在(Zai)刀(Dao)具(Ju)的(De)位(Wei)置(Zhi)上(Shang)换(Huan)成(Cheng)相(Xiang)应(Ying)的(De)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)),机(Ji)床(Chuang)也(Ye)可(Ke)以(Yi)作(Zuo)为(Wei)计(Ji)量(Liang)装(Zhuang)置(Zhi)。(?)例(Li)如(Ru)以(Yi)气(Qi)体(Ti)静(Jing)压(Ya)轴(Zhou)承(Cheng)为(Wei)基(Ji)准(Zhun)的(De)超(Chao)精(Jing)密(Mi)车(Che)床(Chuang),其(Qi)回(Hui)转(Zhuan)精(Jing)度(Du)可(Ke)以(Yi)达(Da)到(Dao)0.02m,加(Jia)工(Gong)零(Ling)件(Jian)的(De)圆(Yuan)度(Du)为(Wei)0.1nm左(Zuo)右(You),用(Yong)加(Jia)工(Gong)机(Ji)床(Chuang)的(De)轴(Zhou)系(Xi)作(Zuo)为(Wei)基(Ji)准(Zhun)测(Ce)量(Liang)工(Gong)件(Jian)是(Shi)完(Wan)全(Quan)可(Ke)行(Xing)的(De)。(?)当(Dang)然(Ran),加(Jia)工(Gong)状(Zhuang)态(Tai)和(He)检(Jian)测(Ce)状(Zhuang)态(Tai)是(Shi)不(Bu)同(Tong)的(De),加(Jia)工(Gong)时(Shi)必(Bi)须(Xu)考(Kao)虑(Lu)装(Zhuang)夹(Jia)变(Bian)形(Xing)等(Deng)因(Yin)素(Su)。(?)目(Mu)前(Qian),国(Guo)外(Wai)非(Fei)常(Chang)重(Zhong)视(Shi)把(Ba)加(Jia)工(Gong)和(He)测(Ce)量(Liang)结(Jie)合(He)起(Qi)来(Lai),积(Ji)极(Ji)发(Fa)展(Zhan)边(Bian)加(Jia)工(Gong)、(?)边(Bian)测(Ce)量(Liang)和(He)在(Zai)监(Jian)控(Kong)测(Ce)量(Liang)条(Tiao)件(Jian)下(Xia)进(Jin)行(Xing)高(Gao)精(Jing)度(Du)的(De)加(Jia)工(Gong)方(Fang)法(Fa)。(?)这(Zhe)种(Zhong)把(Ba)加(Jia)工(Gong)技(Ji)术(Shu)、(?)测(Ce)量(Liang)技(Ji)术(Shu)和(He)控(Kong)制(Zhi)技(Ji)术(Shu)有(You)机(Ji)地(Di)结(Jie)合(He)成(Cheng)为(Wei)一(Yi)体(Ti)的(De)加(Jia)工(Gong)系(Xi)统(Tong)是(Shi)超(Chao)精(Jing)密(Mi)机(Ji)床(Chuang)的(De)典(Dian)型(Xing)发(Fa)展(Zhan)趋(Qu)势(Shi)。(?)这(Zhe)种(Zhong)机(Ji)床(Chuang)即(Ji)是(Shi)加(Jia)工(Gong)机(Ji),又(You)是(Shi)测(Ce)量(Liang)机(Ji),实(Shi)现(Xian)加(Jia)工(Gong)测(Ce)量(Liang)一(Yi)体(Ti)化(Hua),大(Da)大(Da)提(Ti)高(Gao)了(Liao)经(Jing)济(Ji)效(Xiao)益(Yi)。(?)